PECVD ગ્રેફાઇટ બોટ કેવી રીતે સાફ કરવી? | VET એનર્જી

1. સફાઈ કરતા પહેલા સ્વીકૃતિ

૧) જ્યારેPECVD ગ્રેફાઇટ બોટ/કેરિયરનો ઉપયોગ 100 થી 150 થી વધુ વખત થાય છે, ઓપરેટરે સમયસર કોટિંગની સ્થિતિ તપાસવાની જરૂર છે. જો કોઈ અસામાન્ય કોટિંગ હોય, તો તેને સાફ કરીને પુષ્ટિ કરવાની જરૂર છે. ગ્રેફાઇટ બોટ/કેરિયરમાં સિલિકોન વેફરનો સામાન્ય કોટિંગ રંગ વાદળી હોય છે. જો વેફરમાં વાદળી રંગનો અભાવ હોય, બહુવિધ રંગો હોય, અથવા વેફર્સ વચ્ચેનો રંગ તફાવત મોટો હોય, તો તે અસામાન્ય કોટિંગ છે, અને અસામાન્યતાનું કારણ સમયસર પુષ્ટિ કરવાની જરૂર છે.
2) પ્રક્રિયા પછી કર્મચારીઓ કોટિંગની સ્થિતિનું વિશ્લેષણ કરે છેPECVD ગ્રેફાઇટ બોટ/વાહક, તેઓ નક્કી કરશે કે ગ્રેફાઇટ બોટને સાફ કરવાની જરૂર છે કે નહીં અને કાર્ડ પોઈન્ટ બદલવાની જરૂર છે કે નહીં, અને જે ગ્રેફાઇટ બોટ/વાહકને સાફ કરવાની જરૂર છે તેને સફાઈ માટે સાધનસામગ્રીના કર્મચારીઓને સોંપવામાં આવશે.

 

૩) પછીગ્રેફાઇટ બોટ/વાહકને નુકસાન થયું હોય, તો ઉત્પાદન કર્મચારીઓ ગ્રેફાઇટ બોટમાંથી બધા સિલિકોન વેફર્સ બહાર કાઢશે અને તેમાં રહેલા ટુકડાઓને અલગ કરવા માટે CDA (સંકુચિત હવા) નો ઉપયોગ કરશે.ગ્રેફાઇટ બોટ. પૂર્ણ થયા પછી, સાધનસામગ્રીના કર્મચારીઓ તેને એસિડ ટાંકીમાં ઉપાડશે જે સફાઈ માટે ચોક્કસ પ્રમાણમાં HF દ્રાવણ સાથે તૈયાર કરવામાં આવી છે.

 

2. ગ્રેફાઇટ બોટની સફાઈ

સફાઈના ત્રણ રાઉન્ડ માટે 15-25% હાઇડ્રોફ્લોરિક એસિડ સોલ્યુશનનો ઉપયોગ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે, દરેક રાઉન્ડ 4-5 કલાક માટે, અને સમયાંતરે પલાળીને અને સફાઈ પ્રક્રિયા દરમિયાન નાઇટ્રોજન પરપોટા પાડતા રહેવું, લગભગ અડધો કલાક સફાઈ ઉમેરવી; નોંધ: પરપોટા માટે ગેસ સ્ત્રોત તરીકે હવાનો સીધો ઉપયોગ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવતી નથી. અથાણાં પછી, લગભગ 10 કલાક સુધી શુદ્ધ પાણીથી કોગળા કરો, અને ખાતરી કરો કે બોટ સંપૂર્ણપણે સાફ થઈ ગઈ છે. સફાઈ કર્યા પછી, કૃપા કરીને બોટની સપાટી, ગ્રેફાઇટ કાર્ડ પોઈન્ટ અને બોટ શીટ જોઈન્ટ અને અન્ય ભાગો તપાસો કે કોઈ સિલિકોન નાઈટ્રાઈડ અવશેષ છે કે નહીં. પછી જરૂરિયાતો અનુસાર સૂકવો.

૩. સફાઈની સાવચેતીઓ

A) HF એસિડ એક અત્યંત કાટ લાગતો પદાર્થ છે અને તેમાં ચોક્કસ અસ્થિરતા હોય છે, તેથી તે ઓપરેટરો માટે જોખમી છે. તેથી, સફાઈ પોસ્ટ પર ઓપરેટરોએ સલામતીની સાવચેતી રાખવી જોઈએ અને સમર્પિત વ્યક્તિ દ્વારા તેનું સંચાલન કરવું જોઈએ.

B) સફાઈ દરમિયાન બોટને ડિસએસેમ્બલ કરવાની અને ફક્ત ગ્રેફાઇટ ભાગને જ સાફ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે, જેથી દરેક સંપર્ક ભાગને વધુ સારી રીતે સાફ કરી શકાય. હાલમાં, ઘણા સ્થાનિક ઉત્પાદકો એકંદર સફાઈનો ઉપયોગ કરે છે, જે અનુકૂળ છે, પરંતુ HF એસિડ સિરામિક ભાગો માટે કાટ લાગતો હોવાથી, એકંદર સફાઈ સંબંધિત ભાગોની સેવા જીવન ટૂંકી કરશે.