Hoe maak ik een PECVD-grafietboot schoon? | VET Energy

1. Erkenning voor het reinigen

1) Wanneer dePECVD grafietbootAls de /drager meer dan 100 tot 150 keer wordt gebruikt, moet de operator de coatingconditie tijdig controleren. Als er een abnormale coating is, moet deze worden gereinigd en bevestigd. De normale coatingkleur van de siliciumwafer in de grafietboot/drager is blauw. Als de wafer niet-blauw is, meerdere kleuren heeft of het kleurverschil tussen de wafers groot is, is er sprake van een abnormale coating en moet de oorzaak van de afwijking tijdig worden vastgesteld.
2) Nadat het proces is voltooid, analyseren medewerkers de conditie van de coating.PECVD grafietboot/drager, bepalen zij of de grafietboot gereinigd moet worden en of de kaartpunt vervangen moet worden. De grafietboot/drager die gereinigd moet worden, wordt overgedragen aan het apparatuurpersoneel voor reiniging.

 

3) Na degrafiet boot/drager beschadigd is, zal het productiepersoneel alle siliciumwafers uit de grafietboot halen en CDA (perslucht) gebruiken om de fragmenten in degrafiet bootNa voltooiing tilt het personeel van de apparatuur de apparatuur in de zuurtank, die is voorbereid met een bepaalde hoeveelheid HF-oplossing voor reiniging.

 

2. Reiniging van grafietboot

Het wordt aanbevolen om een ​​15-25% waterstoffluorideoplossing te gebruiken voor drie reinigingsrondes van elk 4-5 uur. Voeg tijdens het weken en reinigen periodiek stikstof toe, ongeveer een half uur extra reinigingstijd. Let op: het is niet aan te raden om lucht direct als gasbron te gebruiken voor het borrelen. Spoel na het beitsen ongeveer 10 uur met schoon water om te controleren of de boot grondig is gereinigd. Controleer na het reinigen het oppervlak van de boot, de grafietkartonnage, de naden van de bootplaat en andere onderdelen op eventuele siliciumnitrideresten. Droog vervolgens volgens de voorschriften.

3. Reinigingsvoorzorgsmaatregelen

A) Omdat HF-zuur een zeer bijtende stof is en een zekere vluchtigheid heeft, is het gevaarlijk voor operators. Daarom moeten operators op de schoonmaakpost veiligheidsmaatregelen nemen en worden aangestuurd door een bevoegd persoon.

B) Het is aan te raden om de boot te demonteren en alleen het grafietdeel te reinigen tijdens het reinigen, zodat elk contactpunt grondiger gereinigd kan worden. Veel fabrikanten gebruiken momenteel een algemene reiniging, wat handig is, maar omdat HF-zuur corrosief is voor keramische onderdelen, zal een algemene reiniging de levensduur van de betreffende onderdelen verkorten.