Hoe maak je een PECVD-grafietboot schoon? | VET Energy

1. Bevestiging vóór de schoonmaak

1) Wanneer dePECVD-grafietbootAls de drager meer dan 100 tot 150 keer wordt gebruikt, moet de operator de coatingconditie tijdig controleren. Bij een afwijkende coating moet deze worden gereinigd en gecontroleerd. De normale coatingkleur van de siliciumwafer in de grafietdrager is blauw. Als de wafer een andere kleur heeft, meerdere kleuren vertoont of er grote kleurverschillen tussen de wafers zijn, is er sprake van een afwijkende coating en moet de oorzaak hiervan tijdig worden vastgesteld.
2) Nadat het procespersoneel de coatingconditie van dePECVD-grafietbootAan de hand van de drager bepalen zij of de grafietboot gereinigd moet worden en of het kaartpunt vervangen moet worden. De grafietboot/drager die gereinigd moet worden, wordt vervolgens overgedragen aan het personeel dat verantwoordelijk is voor de reiniging.

 

3) Na degrafietbootAls de drager beschadigd is, zullen de productiemedewerkers alle siliciumwafers in de grafietbak verwijderen en perslucht (CDA) gebruiken om de fragmenten te sorteren.grafietbootNa afloop zal het personeel het apparaat in de zuurtank tillen die is voorbereid met een bepaalde hoeveelheid HF-oplossing voor reiniging.

 

2. Reinigen van een grafietboot

Het wordt aanbevolen om een ​​15-25% fluorwaterstofzuuroplossing te gebruiken voor drie reinigingsrondes, elk gedurende 4-5 uur, en periodiek stikstof door de oplossing te leiden tijdens het weken en reinigen, wat de reinigingstijd met ongeveer een half uur verlengt; let op: het is niet aan te raden om direct lucht als gasbron te gebruiken voor het doorleiden van de stikstof. Spoel na het beitsen ongeveer 10 uur af met zuiver water en controleer of de boot grondig is gereinigd. Controleer na het reinigen het oppervlak van de boot, de grafietpunten en de naden van de bootplaten, en andere onderdelen op eventuele siliciumnitrideresten. Droog de boot vervolgens volgens de voorschriften.

3. Reinigingsvoorzorgsmaatregelen

A) Omdat HF-zuur een zeer corrosieve stof is met een zekere vluchtigheid, is het gevaarlijk voor de medewerkers. Daarom moeten de medewerkers op de reinigingslocatie veiligheidsmaatregelen nemen en onder toezicht staan ​​van een speciaal aangewezen persoon.

B) Het wordt aanbevolen de boot te demonteren en tijdens het reinigen alleen het grafietgedeelte schoon te maken, zodat elk contactoppervlak grondiger gereinigd kan worden. Momenteel gebruiken veel binnenlandse fabrikanten een algehele reiniging, wat handig is, maar omdat HF-zuur corrosief is voor keramische onderdelen, zal een algehele reiniging de levensduur van de betreffende onderdelen verkorten.