1. Recunoaștere înainte de curățare
1) CândBarcă de grafit PECVDDacă un strat de siliciu/suport este utilizat de peste 100 până la 150 de ori, operatorul trebuie să verifice starea stratului de acoperire la timp. Dacă există un strat anormal, acesta trebuie curățat și confirmat. Culoarea normală a stratului de acoperire al plachetei de siliciu din vasul/suportul de grafit este albastră. Dacă placheta are culori diferite de albastru, culori multiple sau diferența de culoare dintre plachete este mare, este vorba de un strat de acoperire anormal, iar cauza anomaliei trebuie confirmată la timp.
2) După ce personalul de proces analizează starea de acoperire aBarcă de grafit PECVD/transportor, aceștia vor stabili dacă barca de grafit trebuie curățată și dacă punctul de card trebuie înlocuit, iar barca/transportul de grafit care trebuie curățat va fi predat personalului responsabil cu echipamentele pentru curățare.
3) Dupăbarcă de grafit/purtătorul este deteriorat, personalul de producție va scoate toate napolitanele de siliciu din barca de grafit și va folosi CDA (aer comprimat) pentru a sorta fragmentele dinbarcă de grafitDupă finalizare, personalul responsabil cu echipamentul îl va ridica în rezervorul de acid care a fost preparat cu o anumită proporție de soluție HF pentru curățare.
2. Curățarea bărcii cu grafit
Se recomandă utilizarea unei soluții de acid fluorhidric 15-25% timp de trei runde de curățare, fiecare timp de 4-5 ore, și barbotarea periodică a azotului în timpul procesului de înmuiere și curățare, adăugând aproximativ o jumătate de oră de curățare; notă: nu se recomandă utilizarea directă a aerului ca sursă de gaz pentru barbotare. După decapare, clătiți cu apă pură timp de aproximativ 10 ore și confirmați că barca a fost curățată temeinic. După curățare, verificați suprafața bărcii, vârful cartonului de grafit și îmbinarea foii bărcii, precum și alte piese pentru a vedea dacă există reziduuri de nitrură de siliciu. Apoi uscați conform cerințelor.
3. Precauții de curățare
A) Deoarece acidul HF este o substanță extrem de corozivă și are o anumită volatilitate, este periculos pentru operatori. Prin urmare, operatorii de la postul de curățare trebuie să ia măsuri de siguranță și să fie supravegheați de o persoană dedicată.
B) Se recomandă demontarea ambarcațiunii și curățarea doar a piesei de grafit în timpul curățării, astfel încât fiecare piesă de contact să poată fi curățată mai temeinic. În prezent, mulți producători autohtoni utilizează curățarea generală, ceea ce este convenabil, dar deoarece acidul HF este coroziv pentru piesele ceramice, curățarea generală va scurta durata de viață a pieselor corespunzătoare.
Data publicării: 23 decembrie 2024