1. ਸਫਾਈ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਰਸੀਦ
1) ਜਦੋਂPECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ 100 ਤੋਂ 150 ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਾਰ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਆਪਰੇਟਰ ਨੂੰ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਕੋਈ ਅਸਧਾਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਅਤੇ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦਾ ਆਮ ਕੋਟਿੰਗ ਰੰਗ ਨੀਲਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਵੇਫਰ ਵਿੱਚ ਗੈਰ-ਨੀਲਾ, ਕਈ ਰੰਗ ਹਨ, ਜਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਰੰਗ ਦਾ ਅੰਤਰ ਵੱਡਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਇੱਕ ਅਸਧਾਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਸਧਾਰਨਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ ਦੀ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
2) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਬਾਅਦ ਕਰਮਚਾਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰਦੇ ਹਨPECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ, ਉਹ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨਗੇ ਕਿ ਕੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ ਅਤੇ ਕੀ ਕਾਰਡ ਪੁਆਇੰਟ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ, ਅਤੇ ਜਿਸ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ, ਉਸਨੂੰ ਸਫਾਈ ਲਈ ਉਪਕਰਣ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਨੂੰ ਸੌਂਪ ਦਿੱਤਾ ਜਾਵੇਗਾ।
3) ਤੋਂ ਬਾਅਦਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ/ਕੈਰੀਅਰ ਖਰਾਬ ਹੋ ਗਿਆ ਹੈ, ਤਾਂ ਉਤਪਾਦਨ ਕਰਮਚਾਰੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਵਿੱਚੋਂ ਸਾਰੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢ ਲੈਣਗੇ ਅਤੇ ਟੁਕੜਿਆਂ ਨੂੰ ਛਾਂਟਣ ਲਈ CDA (ਕੰਪ੍ਰੈਸਡ ਏਅਰ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨਗੇ।ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ. ਪੂਰਾ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਉਪਕਰਣ ਕਰਮਚਾਰੀ ਇਸਨੂੰ ਐਸਿਡ ਟੈਂਕ ਵਿੱਚ ਚੁੱਕਣਗੇ ਜੋ ਸਫਾਈ ਲਈ HF ਘੋਲ ਦੇ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਅਨੁਪਾਤ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।
2. ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਦੀ ਸਫਾਈ
ਸਫਾਈ ਦੇ ਤਿੰਨ ਦੌਰਾਂ ਲਈ 15-25% ਹਾਈਡ੍ਰੋਫਲੋਰਿਕ ਐਸਿਡ ਘੋਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਹਰੇਕ 4-5 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ, ਅਤੇ ਭਿੱਜਣ ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਮੇਂ-ਸਮੇਂ 'ਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਨੂੰ ਬੁਲਬੁਲਾ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਲਗਭਗ ਅੱਧਾ ਘੰਟਾ ਸਫਾਈ ਜੋੜਦੇ ਹੋਏ; ਨੋਟ: ਬੁਲਬੁਲਾ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਿੱਧੇ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਵਜੋਂ ਹਵਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਨਹੀਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ। ਅਚਾਰ ਬਣਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਲਗਭਗ 10 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ ਸ਼ੁੱਧ ਪਾਣੀ ਨਾਲ ਕੁਰਲੀ ਕਰੋ, ਅਤੇ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰੋ ਕਿ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਚੰਗੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਸਫਾਈ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਕਿਸ਼ਤੀ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ, ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਾਰਡ ਪੁਆਇੰਟ ਅਤੇ ਕਿਸ਼ਤੀ ਸ਼ੀਟ ਜੋੜ, ਅਤੇ ਹੋਰ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰੋ ਕਿ ਕੀ ਕੋਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਹੈ। ਫਿਰ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਅਨੁਸਾਰ ਸੁਕਾਓ।
3. ਸਫਾਈ ਸੰਬੰਧੀ ਸਾਵਧਾਨੀਆਂ
A) ਕਿਉਂਕਿ HF ਐਸਿਡ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖਰਾਬ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਪਦਾਰਥ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਖਾਸ ਅਸਥਿਰਤਾ ਹੈ, ਇਹ ਆਪਰੇਟਰਾਂ ਲਈ ਖ਼ਤਰਨਾਕ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸਫਾਈ ਪੋਸਟ 'ਤੇ ਆਪਰੇਟਰਾਂ ਨੂੰ ਸੁਰੱਖਿਆ ਸਾਵਧਾਨੀਆਂ ਵਰਤਣੀਆਂ ਚਾਹੀਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਇੱਕ ਸਮਰਪਿਤ ਵਿਅਕਤੀ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਬੰਧਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
ਅ) ਸਫਾਈ ਦੌਰਾਨ ਕਿਸ਼ਤੀ ਨੂੰ ਵੱਖ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਿਰਫ਼ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਹਰੇਕ ਸੰਪਰਕ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਹੋਰ ਚੰਗੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ। ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਘਰੇਲੂ ਨਿਰਮਾਤਾ ਸਮੁੱਚੀ ਸਫਾਈ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਸੁਵਿਧਾਜਨਕ ਹੈ, ਪਰ ਕਿਉਂਕਿ HF ਐਸਿਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਹਿੱਸਿਆਂ ਲਈ ਖਰਾਬ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਸਮੁੱਚੀ ਸਫਾਈ ਸੰਬੰਧਿਤ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਘਟਾ ਦੇਵੇਗੀ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਦਸੰਬਰ-23-2024