Kuinka puhdistaa PECVD-grafiittivene？| VET Energy

1. Kuittaus ennen puhdistusta

1) KunPECVD-grafiittiveneJos kiekkoa/kantoainetta käytetään yli 100–150 kertaa, käyttäjän on tarkistettava pinnoitteen kunto ajoissa. Jos pinnoite on epänormaali, se on puhdistettava ja vahvistettava. Grafiittialuksen/kantoaineen piikiekon normaali pinnoitteen väri on sininen. Jos kiekossa on muuta kuin sinistä, useita värejä tai kiekkojen välinen väriero on suuri, kyseessä on epänormaali pinnoite, ja poikkeavuuden syy on vahvistettava ajoissa.
2) Kun prosessihenkilöstö on analysoinut pinnoitteen kunnonPECVD-grafiittivene/kantoalus, he määrittävät, tarvitseeko grafiittivene puhdistaa ja onko korttipiste vaihdettava, ja puhdistettava grafiittivene/kantoalus luovutetaan kalustohenkilökunnalle puhdistusta varten.

 

3) Jälkeengrafiittivene/kantaja on vaurioitunut, tuotantohenkilöstö poistaa kaikki piikiekot grafiittiveneestä ja lajittelee niiden sirpaleet paineilmalla.grafiittiveneValmistumisen jälkeen laitteen henkilökunta nostaa sen happosäiliöön, johon on lisätty tietty määrä HF-liuosta puhdistusta varten.

 

2. Grafiittiveneen puhdistus

On suositeltavaa käyttää 15–25-prosenttista fluorivetyhappoliuosta kolmessa puhdistuskerrassa, kukin 4–5 tuntia, ja kuplia säännöllisesti typpeä liotus- ja puhdistusprosessin aikana, lisäämällä noin puoli tuntia puhdistusta. Huomautus: Ei ole suositeltavaa käyttää ilmaa suoraan kaasulähteenä kuplituksessa. Peittauksen jälkeen huuhtele puhtaalla vedellä noin 10 tuntia ja varmista, että vene on puhdistettu perusteellisesti. Puhdistuksen jälkeen tarkista veneen pinta, grafiittikartonkipiste ja venelevyn liitos sekä muut osat nähdäksesi, onko niissä piinitridijäämiä. Kuivaa sitten vaatimusten mukaisesti.

3. Puhdistusohjeet

A) Koska HF-happo on erittäin syövyttävä aine ja sillä on tietty haihtuvuus, se on vaarallista käyttäjille. Siksi puhdistuspisteen käyttäjien on noudatettava turvatoimia ja heitä on valvottava nimetyn henkilön toimesta.

B) On suositeltavaa purkaa vene ja puhdistaa puhdistuksen aikana vain grafiittiosa, jotta jokainen kosketusosa voidaan puhdistaa perusteellisemmin. Tällä hetkellä monet kotimaiset valmistajat käyttävät kokonaispuhdistusta, mikä on kätevää, mutta koska HF-happo syövyttää keraamisia osia, kokonaispuhdistus lyhentää vastaavien osien käyttöikää.