Ahoana ny fanadiovana ny sambo grafita PECVD？| VET Energy

1. Fanekena alohan'ny fanadiovana

1) RehefaSambo grafita PECVDRaha ampiasaina mihoatra ny in-100 ka hatramin'ny in-150 ny "carrier", dia mila manamarina ara-potoana ny toetran'ny "coating". Raha misy "coating" tsy ara-dalàna, dia mila diovina sy hamarinina izany. Manga ny loko mahazatra amin'ny "wafer" silikônina ao amin'ny sambo/carrier" grafita. Raha tsy manga ny "wafer", loko maro, na lehibe ny fahasamihafan'ny loko eo amin'ireo "wafer", dia "coating" tsy ara-dalàna izany, ary mila hamarinina ara-potoana ny antony mahatonga ny tsy ara-dalàna.
2) Aorian'ny fizotran'ny asa dia handinika ny toetran'ny coating ny mpiasan'nySambo grafita PECVD/mpitaingina, izy ireo no hamaritra raha mila diovina ny sambo grafita ary raha mila soloina ny teboka karatra, ary ny sambo/mpitaingina grafita izay mila diovina dia hatolotra ny mpiasan'ny fitaovana mba hodiovina.

 

3) Aorian'nysambo grafitaRaha simba ny mpitatitra, dia hesorin'ny mpiasan'ny famokarana ny "silicon wafers" rehetra ao anaty sambo grafita ary hampiasa CDA (rivotra voatsindry) izy ireo mba hanavahana ireo poti-javatra ao anaty sambo.sambo grafitaRehefa vita izany dia hatsangan'ny mpiasan'ny fitaovana ao anaty fitoeran-asidra izay efa voaomana miaraka amin'ny vahaolana HF amin'ny ampahany sasany ho an'ny fanadiovana.

 

2. Fanadiovana sambo grafita

Soso-kevitra ny hampiasana vahaolana asidra hydrofluorika 15-25% mandritra ny fanadiovana intelo, mandritra ny 4-5 ora avy, ary ampio azota miboiboika tsy tapaka mandritra ny fandrobohana sy fanadiovana, ary ampio antsasak'adiny eo ho eo ny fanadiovana; fanamarihana: tsy soso-kevitra ny hampiasana rivotra mivantana ho loharanon-drivotra amin'ny fandrobohana. Rehefa avy nalona dia kobanina amin'ny rano madio mandritra ny 10 ora eo ho eo, ary hamarino fa voadio tsara ny sambo. Rehefa avy nodiovina dia jereo ny velaran'ny sambo, ny teboka misy ny karatra grafita sy ny tonon-tavoahangy sambo, ary ny faritra hafa mba hahitana raha misy sisa tavela amin'ny silikônina nitrida. Avy eo dia maina araka ny fepetra takiana.

3. Fitandremana amin'ny fanadiovana

A) Satria akora manimba be ny asidra HF ary mora miovaova, dia mampidi-doza ho an'ny mpampiasa izany. Noho izany, ny mpampiasa ao amin'ny toeram-panadiovana dia tsy maintsy mandray fepetra fiarovana ary tantanan'ny olona manokana.

B) Soso-kevitra ny hanesorana ny sambo ary ny grafita ihany no diovina mandritra ny fanadiovana, mba hahafahana manadio tsara kokoa ny faritra tsirairay mifandray. Amin'izao fotoana izao, mpanamboatra ao an-toerana maro no mampiasa fanadiovana ankapobeny, izay mety tsara, saingy satria manimba ny faritra seramika ny asidra HF, dia hampihena ny androm-piainan'ny faritra mifandraika amin'izany ny fanadiovana ankapobeny.