Ako čistiť grafitový čln PECVD？| VET Energy

1. Potvrdenie pred čistením

1) KeďGrafitový čln PECVDAk sa nosič/vrstva používa viac ako 100 až 150-krát, obsluha musí včas skontrolovať stav povlaku. Ak sa vyskytne abnormálny povlak, je potrebné ho vyčistiť a potvrdiť. Normálna farba povlaku kremíkového plátku v grafitovej loďke/nosiči je modrá. Ak má plátok inú ako modrú farbu, viacero farieb alebo je farebný rozdiel medzi plátkami veľký, ide o abnormálny povlak a je potrebné včas zistiť príčinu abnormality.
2) Po tom, čo personál procesu analyzuje stav náteruGrafitový čln PECVD/nosič, určia, či je potrebné grafitovú loďku vyčistiť a či je potrebné vymeniť hrot karty a grafitová loďka/nosič, ktorú je potrebné vyčistiť, bude odovzdaná personálu obsluhy na vyčistenie.

 

3) Pografitová loďAk je nosič poškodený, výrobný personál vyberie všetky kremíkové doštičky z grafitovej lodičky a pomocou stlačeného vzduchu (CDA) vytriedi fragmenty v...grafitová loďPo dokončení ho personál zariadenia zdvihne do kyselinovej nádrže, ktorá bola pripravená s určitým pomerom roztoku HF na čistenie.

 

2. Čistenie grafitovej lode

Odporúča sa použiť 15 – 25 % roztok kyseliny fluorovodíkovej na tri kolá čistenia, každé po dobu 4 – 5 hodín, a počas namáčania a čistenia pravidelne prebublávať dusík, pričom sa pridá približne polhodinová doba čistenia; poznámka: neodporúča sa používať vzduch priamo ako zdroj plynu na prebublávanie. Po morení opláchnite čistou vodou približne 10 hodín a uistite sa, že loď bola dôkladne vyčistená. Po vyčistení skontrolujte povrch lode, grafitový hrot a spoj plachty lode a ďalšie časti, či sa na nich nenachádzajú zvyšky nitridu kremíka. Potom vysušte podľa požiadaviek.

3. Bezpečnostné opatrenia pri čistení

A) Keďže kyselina HF je vysoko korozívna látka a má určitú prchavosť, je pre obsluhu nebezpečná. Preto musia pracovníci na čistiacom mieste dodržiavať bezpečnostné opatrenia a byť riadení určenou osobou.

B) Odporúča sa rozobrať loď a počas čistenia vyčistiť iba grafitovú časť, aby sa každá kontaktná časť mohla dôkladnejšie vyčistiť. V súčasnosti mnoho domácich výrobcov používa celkové čistenie, čo je pohodlné, ale pretože kyselina HF je korozívna pre keramické časti, celkové čistenie skráti životnosť príslušných častí.