Auala e fa'amamā ai le va'a karapite PECVD？| VET Energy

1. Fa'ailoa atu a'o le'i fa'amamāina

1) Afai o leVa'a karapite PECVDAfai e sili atu ma le 100 i le 150 taimi e faʻaaogaina ai le /avefeʻau, e manaʻomia e le tagata faʻagaoioia ona siaki le tulaga o le ufiufi i le taimi atofaina. Afai e iai se ufiufi e le masani ai, e manaʻomia ona faʻamamā ma faʻamaonia. O le lanu masani o le ufiufi o le silicon wafer i totonu o le vaʻa/avefeʻau graphite e lanumoana. Afai e le lanumoana le wafer, e tele lanu, pe tele le eseesega o le lanu i le va o wafers, o se ufiufi e le masani ai, ma e manaʻomia ona faʻamaonia le mafuaʻaga o le le masani ai i le taimi atofaina.
2) A maeʻa le faagasologa, e iloilo e le aufaigaluega le tulaga o le ufiufi o leVa'a karapite PECVD/avefe'au, o le a latou fuafuaina pe mana'omia ona fa'amamā le va'a karapite ma pe mana'omia ona sui le pito o le kata, ma o le va'a/avefe'au karapite e mana'omia ona fa'amamāina o le a tu'uina atu i le aufaigaluega o meafaigaluega mo le fa'amamāina.

 

3) A maeʻa leva'a karapite/a fa'aleagaina le aveta'avale, o le a aveese e le aufaigaluega gaosi oloa uma ia silicon wafers i totonu o le va'a graphite ma fa'aaoga le CDA (compressed air) e fa'avasega ai vaega o lo'o i totonuva'a karapite. A maeʻa, o le a sii aʻe e le aufaigaluega a le masini i totonu o le tane 'āsi ua saunia i se vaega patino o le vailaʻau HF mo le faʻamamāina.

 

2. Fa'amamaina o le va'a karapite

E fautuaina le fa'aaogaina o se vaila'au e 15-25% le hydrofluoric acid mo le fa'amamāina i ta'amilosaga e tolu, ta'itasi mo le 4-5 itula, ma fa'apuna le nitrogen i nisi taimi i le taimi o le fa'asusu ma le fa'amamāina, fa'aopoopo pe tusa ma le afa itula o le fa'amamāina; ia manatua: e le fautuaina le fa'aaogaina sa'o o le ea e fai ma puna o le kesi mo le fa'apunaina. A uma ona fa'apuna, fufulu i le vai mama mo le tusa ma le 10 itula, ma fa'amaonia ua mae'a ona fa'amamāina lelei le va'a. A uma ona fa'amamā, fa'amolemole siaki le fogāeleele o le va'a, le pito o le pepa graphite ma le so'oga o le laupepa o le va'a, ma isi vaega e va'ai pe iai ni toega o le silicon nitride. Ona fa'amago lea e tusa ai ma mana'oga.

3. Puipuiga mai le fa'amamāina

A) Talu ai o le HF acid o se mea e matuā 'ā'ā ma e faigofie ona fe'avea'i, e matautia mo le aufaigaluega. O le mea lea, e tatau i le aufaigaluega i le nofoaga e fa'amamā ai ona faia ni puipuiga saogalemu ma ia pulea e se tagata fa'apitoa.

B) E fautuaina e tatala le va'a ma na'o le fa'amamāina o le vaega o le graphite i le taimi e fa'amamāina ai, ina ia mafai ona fa'amamāina lelei vaega ta'itasi e pa'i atu i ai. I le taimi nei, e tele kamupani gaosi oloa i totonu o le atunu'u e fa'aaogaina le fa'amamāina atoa, lea e faigofie, ae ona o le HF acid e fa'aleagaina ai vaega o le seramika, o le fa'amamāina atoa o le a fa'apu'upu'uina ai le ola o vaega talafeagai.