1. Потврда пре чишћења
1) КадаPECVD графитни чамацАко се носач/плита користи више од 100 до 150 пута, оператер треба благовремено да провери стање премаза. Уколико постоји абнормални премаз, потребно га је очистити и потврдити. Нормална боја премаза силицијумске плочице у графитном чамцу/носачу је плава. Ако плочица има различите боје, више боја или је разлика у боји између плочица велика, ради се о абнормалном премазу и узрок абнормалности треба благовремено утврдити.
2) Након што особље процеса анализира стање премазаPECVD графитни чамац/носач, они ће утврдити да ли графитни чамац треба очистити и да ли је потребно заменити врх картице, а графитни чамац/носач који треба очистити биће предат особљу за опрему на чишћење.
3) Наконграфитни чамац/носач је оштећен, производно особље ће извадити све силицијумске плочице из графитног чамца и користити ЦДА (компримовани ваздух) да сортира фрагменте уграфитни чамацНакон завршетка, особље опреме ће је подићи у резервоар за киселину који је припремљен са одређеним процентом HF раствора за чишћење.
2. Чишћење графитног чамца
Препоручује се употреба раствора флуороводоничне киселине од 15-25% за три круга чишћења, сваки по 4-5 сати, и периодично пропуштање азота током процеса намакања и чишћења, додајући око пола сата чишћења; напомена: не препоручује се директна употреба ваздуха као извора гаса за пропуштање. Након кисељења, испрати чистом водом око 10 сати и потврдити да је чамац темељно очишћен. Након чишћења, проверите површину чамца, графитну спојницу и спој шкољке чамца, као и друге делове, да бисте видели да ли има остатака силицијум нитрида. Затим осушите према захтевима.
3. Мере предострожности при чишћењу
A) Пошто је HF киселина веома корозивна супстанца и има одређену испарљивост, опасна је за оператере. Стога, оператери на месту за чишћење морају предузети мере предострожности и бити под надзором одређене особе.
Б) Препоручује се растављање чамца и чишћење само графитног дела током чишћења, како би се сваки контактни део могао темељније очистити. Тренутно многи домаћи произвођачи користе целокупно чишћење, што је погодно, али пошто је HF киселина корозивна за керамичке делове, целокупно чишћење ће скратити век трајања одговарајућих делова.
Време објаве: 23. децембар 2024.