ווי אזוי צו רייניקן PECVD גראַפיט שיפל? | וועט ענערגיע

1. אנערקענונג פארן רייניגן

1) ווען דיפּעקווד גראַפיט שיפלאויב דער וועיפער/קעריער ווערט גענוצט מער ווי 100 ביז 150 מאל, דארף דער אפעראטאר קאנטראלירן דעם צושטאנד פון דער באַדעקונג אין צייט. אויב עס איז דא אן אומנארמאלער באַדעקונג, דארף מען עס רייניקן און באשטעטיקן. די נארמאלע באַדעקונג-קאָליר פון די סיליקאָן וועיפער אין די גראַפיט-שיפל/קעריער איז בלוי. אויב די וועיפער האט נישט-בלוי, קייפל קאלירן, אדער דער קאָליר-אונטערשייד צווישן די וועיפערס איז גרויס, איז עס אן אומנארמאלער באַדעקונג, און די אורזאך פון דער אומנארמאלקייט דארף מען באשטעטיקן אין צייט.
2) נאך דעם פראצעס אנאליזירן די פערסאנעל דעם צושטאנד פון די באדעקונגפּעקווד גראַפיט שיפל/טרעגער, וועלן זיי באַשטימען צי די גראַפיט שיף דאַרף ווערן ריין געמאַכט און צי די קאַרטל פּונקט דאַרף ווערן ריפּלייסט, און די גראַפיט שיף/טרעגער וואָס דאַרף ווערן ריין געמאַכט וועט ווערן איבערגעגעבן צו די עקוויפּמענט פּערסאָנעל פֿאַר רייניקונג.

 

3) נאָך דעםגראַפיט שיפל/קעריער איז געשעדיגט, וועט די פראדוקציע פערסאנעל ארויסנעמען אלע סיליקאן וועיפערס אין דעם גראפיט שיף און ניצן CDA (קאמפרעסירטע לופט) צו סארטירן די פראגמענטן אין דעםגראַפיט שיפלנאכדעם וואס עס איז פארטיג, וועט די עקוויפמענט פערסאנעל עס אריינהייבן אין דעם זויער טאנק וואס איז צוגעגרייט געווארן מיט א געוויסן פראפארציע פון ​​HF לייזונג פאר רייניקונג.

 ריינע PECVD גראַפיט שיפל (2)

2. רייניקונג פון גראַפיט שיפל

עס איז רעקאָמענדירט צו ניצן אַ 15-25% הידראָפלאָריק זויער לייזונג פֿאַר דריי רונדעס רייניקונג, יעדע פֿאַר 4-5 שעה, און פּעריִאָדיש בלאָזן שטיקשטאָף בעת דעם ווייקן און רייניקונג פּראָצעס, און צולייגן אַרום אַ האַלב שעה רייניקונג; באַמערקונג: עס איז נישט רעקאָמענדירט צו ניצן לופט גלייך ווי די גאַז מקור פֿאַר בלאָזן. נאָך פּיקלינג, שווענקען מיט ריין וואַסער פֿאַר אַרום 10 שעה, און באַשטעטיקן אַז די שיף איז געווען גוט ריין. נאָך רייניקונג, ביטע קאָנטראָלירן די ייבערפלאַך פון די שיף, די גראַפיט קאַרטל פונט און די שיף בויגן פֿאַרבינדונג, און אנדערע טיילן צו זען אויב עס איז קיין סיליקאָן ניטריד רעשטלעך. דערנאָך טרוקן לויט די באדערפענישן.

ריינע PECVD גראַפיט שיפל (1)

3. רייניקונג פֿאָרזיכטיגקייטן

א) ווייל HF זויער איז א שטארק קאראזיווע סובסטאנץ און האט א געוויסע פלאטיליטעט, איז עס געפערליך פאר אפעראטארן. דעריבער מוזן אפעראטארן ביים רייניקונגס-פאסטן נעמען זיכערהייטס-מיטלען און ווערן געפירט דורך א באשטימטן מענטש.

ב) עס איז רעקאמענדירט צו צענעמען דאס שיפל און נאר רייניקן דעם גראפיט טייל בעת'ן רייניגן, אזוי אז יעדער קאנטאקט טייל זאל קענען ווערן מער גרינטלעך רייניגט. איצט נוצן אסאך היימישע פאבריקאנטן אלגעמיינע רייניגונג, וואס איז באקוועם, אבער ווייל HF זויער איז קאראזיוו צו קעראמישע טיילן, וועט אלגעמיינע רייניגונג פארקירצן די לעבנסדויער פון די קארעספאנדירנדע טיילן.


פּאָסט צייט: 23 דעצעמבער 2024
וואַטסאַפּ אָנליין שמועס!