Wéi botzt een e PECVD-Graphitboot? | VET Energy

1. Bestätegung virum Botzen

1) Wann denPECVD GrafitbootWann de /Carrier méi wéi 100 bis 150 Mol benotzt gëtt, muss den Operateur den Zoustand vun der Beschichtung rechtzäiteg kontrolléieren. Wann et eng anormal Beschichtung gëtt, muss se gebotzt a bestätegt ginn. Déi normal Beschichtungsfaarf vum Siliziumwafer am Graphitboot/Carrier ass blo. Wann de Wafer net blo, verschidde Faarwen huet, oder den Faarfënnerscheed tëscht de Waferen grouss ass, ass et eng anormal Beschichtung, an d'Ursaach vun der Anomalie muss rechtzäiteg bestätegt ginn.
2) Nom Prozess analyséiert d'Personal den Zoustand vun der BeschichtungPECVD Grafitboot/Träger, si bestëmmen ob de Graphitboot muss gebotzt ginn an ob de Kaartepunkt muss ersat ginn, an de Graphitboot/Träger, deen muss gebotzt ginn, gëtt dem Ausrüstungspersonal fir d'Botzen iwwerginn.

 

3) NomGrafitboot/Carrier beschiedegt ass, wäert d'Produktiounspersonal all d'Siliziumwaferen aus dem Graphitboot eraushuelen a CDA (Drockloft) benotzen fir d'Fragmenter dran ze sortéieren.GrafitbootNom Ofschloss hieft d'Personal vun der Ausrüstung et an den Säuretank, deen mat engem bestëmmten Undeel vun HF-Léisung fir d'Botzen virbereet gouf.

 

2. Botzen vun engem Graphitboot

Et ass recommandéiert, eng 15-25% Flusssäureléisung fir dräi Reinigungsronne mat jee 4-5 Stonnen ze benotzen, an periodesch Stickstoff während dem Aweih- a Reinigungsprozess anzeblosen, ongeféier eng hallef Stonn Reinigung derbäizesetzen; Bemierkung: Et ass net recommandéiert, direkt Loft als Gasquell fir d'Blosen ze benotzen. Nom Beizen, ongeféier 10 Stonnen mat purem Waasser spullen, a bestätegen, datt de Boot grëndlech gebotzt gouf. Nom Botzen, kontrolléiert w.e.g. d'Uewerfläch vum Boot, d'Grafitkaartspëtz an d'Verbindung vun der Bootsplack, an aner Deeler fir ze kucken, ob et Siliziumnitridreschter gëtt. Dann no den Ufuerderungen dréchnen.

3. Virsiichtsmoossname fir d'Botzen

A) Well HF-Säure eng héich korrosiv Substanz ass a gewësse Volatilitéit huet, ass se geféierlech fir d'Betreiber. Dofir mussen d'Betreiber um Botzposten Sécherheetsmoossname treffen a vun enger spezialiséierter Persoun betreit ginn.

B) Et ass recommandéiert, d'Boot auserneen ze huelen an nëmmen den Graphitdeel beim Botzen ze botzen, sou datt all Kontaktdeel méi grëndlech gebotzt ka ginn. Aktuell benotze vill Haushersteller eng Gesamtreinigung, wat praktesch ass, awer well HF-Säure fir Keramikdeeler korrosiv ass, verkierzt d'Gesamtreinigung d'Liewensdauer vun den entspriechenden Deeler.