1. साफसफाई करण्यापूर्वी पावती
१) जेव्हाPECVD ग्रेफाइट बोट/कॅरियर १०० ते १५० पेक्षा जास्त वेळा वापरला गेला आहे, ऑपरेटरला वेळेत कोटिंगची स्थिती तपासावी लागेल. जर असामान्य कोटिंग असेल तर ते स्वच्छ करून पुष्टी करावी लागेल. ग्रेफाइट बोट/कॅरियरमधील सिलिकॉन वेफरचा सामान्य कोटिंग रंग निळा असतो. जर वेफरमध्ये निळा नसलेला, अनेक रंगांचा किंवा वेफर्समधील रंगाचा फरक मोठा असेल तर तो एक असामान्य कोटिंग आहे आणि असामान्यतेचे कारण वेळेत पुष्टी करणे आवश्यक आहे.
२) प्रक्रियेनंतर कर्मचारी कोटिंगच्या स्थितीचे विश्लेषण करतातPECVD ग्रेफाइट बोट/वाहक, ते ग्रेफाइट बोट साफ करायची आहे की नाही आणि कार्ड पॉइंट बदलण्याची आवश्यकता आहे की नाही हे ठरवतील आणि ज्या ग्रेफाइट बोट/वाहकांना साफ करायचे आहे ते साफसफाईसाठी उपकरण कर्मचाऱ्यांना दिले जाईल.
३) नंतरग्रेफाइट बोट/वाहक खराब झाला आहे, तर उत्पादन कर्मचारी ग्रेफाइट बोटीतील सर्व सिलिकॉन वेफर्स बाहेर काढतील आणि त्यातील तुकड्यांची वर्गवारी करण्यासाठी CDA (कॉम्प्रेस्ड एअर) वापरतील.ग्रेफाइट बोट. पूर्ण झाल्यानंतर, उपकरण कर्मचारी ते स्वच्छतेसाठी विशिष्ट प्रमाणात एचएफ द्रावणासह तयार केलेल्या आम्ल टाकीमध्ये उचलतील.
2. ग्रेफाइट बोटीची साफसफाई
स्वच्छतेच्या तीन फेऱ्यांसाठी १५-२५% हायड्रोफ्लोरिक अॅसिड द्रावण वापरण्याची शिफारस केली जाते, प्रत्येकी ४-५ तासांसाठी, आणि भिजवण्याच्या आणि स्वच्छतेच्या प्रक्रियेदरम्यान वेळोवेळी नायट्रोजन बुडबुडे घालणे, सुमारे अर्धा तास साफसफाई करणे; टीप: बुडबुडे तयार करण्यासाठी थेट वायू स्रोत म्हणून हवा वापरण्याची शिफारस केलेली नाही. लोणचे काढल्यानंतर, सुमारे १० तास शुद्ध पाण्याने स्वच्छ धुवा आणि बोट पूर्णपणे स्वच्छ केली गेली आहे याची खात्री करा. साफसफाई केल्यानंतर, कृपया बोटीचा पृष्ठभाग, ग्रेफाइट कार्ड पॉइंट आणि बोट शीट जॉइंट आणि इतर भाग तपासा की त्यात सिलिकॉन नायट्राइडचे अवशेष आहेत का ते पहा. नंतर आवश्यकतेनुसार वाळवा.
३. स्वच्छतेची खबरदारी
अ) एचएफ अॅसिड हा अत्यंत संक्षारक पदार्थ असल्याने आणि त्यात विशिष्ट अस्थिरता असल्याने, तो ऑपरेटरसाठी धोकादायक आहे. म्हणून, स्वच्छता पोस्टवरील ऑपरेटरनी सुरक्षिततेची खबरदारी घेतली पाहिजे आणि त्यांचे व्यवस्थापन एका समर्पित व्यक्तीद्वारे केले पाहिजे.
ब) साफसफाई करताना बोट वेगळे करण्याची आणि फक्त ग्रेफाइट भाग स्वच्छ करण्याची शिफारस केली जाते, जेणेकरून प्रत्येक संपर्क भाग अधिक चांगल्या प्रकारे स्वच्छ करता येईल. सध्या, अनेक घरगुती उत्पादक एकूण साफसफाई वापरतात, जे सोयीस्कर आहे, परंतु एचएफ ऍसिड सिरेमिक भागांना संक्षारक असल्याने, एकूण साफसफाईमुळे संबंधित भागांचे सेवा आयुष्य कमी होईल.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२३-२०२४