1. साफसफाई करण्यापूर्वी स्वीकृती
१) जेव्हापीईसीव्हीडी ग्राफाइट बोटजेव्हा ग्रॅफाइट बोट/कॅरियरचा वापर १०० ते १५० पेक्षा जास्त वेळा केला जातो, तेव्हा ऑपरेटरने वेळेवर कोटिंगची स्थिती तपासणे आवश्यक आहे. जर कोटिंगमध्ये काही असामान्यता आढळल्यास, ते स्वच्छ करून त्याची खात्री करणे आवश्यक आहे. ग्रॅफाइट बोट/कॅरियरमधील सिलिकॉन वेफरचा सामान्य कोटिंग रंग निळा असतो. जर वेफरवर निळ्या रंगाव्यतिरिक्त इतर रंग, अनेक रंग असतील किंवा वेफर्सच्या रंगांमध्ये मोठा फरक असेल, तर ते एक असामान्य कोटिंग आहे आणि या असामान्यतेच्या कारणाची वेळेवर खात्री करणे आवश्यक आहे.
२) प्रक्रिया कर्मचाऱ्यांनी कोटिंगच्या स्थितीचे विश्लेषण केल्यानंतरपीईसीव्हीडी ग्राफाइट बोट/कॅरियर, ते ठरवतील की ग्राफाइट बोट स्वच्छ करण्याची गरज आहे की नाही आणि कार्ड पॉइंट बदलण्याची गरज आहे की नाही, आणि स्वच्छ करण्याची गरज असलेली ग्राफाइट बोट/कॅरियर स्वच्छतेसाठी उपकरण कर्मचाऱ्यांकडे सुपूर्द केली जाईल.
३) नंतरग्राफाइट बोटकॅरियर खराब झाल्यास, उत्पादन कर्मचारी ग्राफाइट बोटमधील सर्व सिलिकॉन वेफर्स बाहेर काढतील आणि त्यातील तुकडे वेगळे करण्यासाठी CDA (संपीडित हवा) वापरतील.ग्राफाइट बोटकाम पूर्ण झाल्यावर, उपकरण कर्मचारी ते स्वच्छतेसाठी विशिष्ट प्रमाणात एचएफ (HF) द्रावणाने तयार केलेल्या ॲसिड टाकीमध्ये उचलून ठेवतील.
2. ग्राफाईट बोटीची साफसफाई
स्वच्छतेच्या तीन फेऱ्यांसाठी १५-२५% हायड्रोफ्लोरिक ऍसिड द्रावण वापरण्याची शिफारस केली जाते, प्रत्येक फेरी ४-५ तासांसाठी. भिजवण्याच्या आणि स्वच्छ करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान वेळोवेळी नायट्रोजन वायू सोडावा, ज्यामुळे स्वच्छतेच्या वेळेत सुमारे अर्धा तास वाढेल; टीप: वायू सोडण्यासाठी थेट हवेचा वापर करण्याची शिफारस केलेली नाही. भिजवल्यानंतर, सुमारे १० तास शुद्ध पाण्याने स्वच्छ धुवा आणि बोट पूर्णपणे स्वच्छ झाली आहे याची खात्री करा. स्वच्छ केल्यानंतर, बोटीचा पृष्ठभाग, ग्राफाइट कार्ड पॉइंट, बोटीच्या पत्र्यांचे जोड आणि इतर भागांवर सिलिकॉन नायट्राइडचा कोणताही अवशेष आहे का ते तपासा. त्यानंतर आवश्यकतेनुसार वाळवा.
३. स्वच्छतेसाठी घ्यावयाची खबरदारी
अ) एचएफ आम्ल हा एक अत्यंत संक्षारक पदार्थ असून तो बाष्पशील असल्यामुळे, तो कामगारांसाठी धोकादायक आहे. त्यामुळे, स्वच्छता केंद्रावरील कामगारांनी सुरक्षेची खबरदारी घेणे आवश्यक आहे आणि त्यांच्यावर एका समर्पित व्यक्तीने देखरेख ठेवली पाहिजे.
ब) साफसफाई करताना बोट वेगळी करून फक्त ग्राफाइटचा भाग स्वच्छ करण्याची शिफारस केली जाते, जेणेकरून प्रत्येक संपर्कात येणारा भाग अधिक चांगल्या प्रकारे स्वच्छ करता येईल. सध्या, अनेक देशांतर्गत उत्पादक संपूर्ण बोट स्वच्छ करण्याची पद्धत वापरतात, जी सोयीस्कर आहे, परंतु एचएफ ऍसिड सिरॅमिक भागांसाठी क्षरणकारक असल्यामुळे, संपूर्ण बोट स्वच्छ केल्याने संबंधित भागांचे सेवा आयुष्य कमी होते.
पोस्ट करण्याची वेळ: २३-डिसेंबर-२०२४