Jak čistit grafitový člun PECVD？| VET Energy

1. Potvrzení před čištěním

1) KdyžGrafitový člun PECVDPokud se nosič/deska používá více než 100 až 150krát, musí obsluha včas zkontrolovat stav povlaku. Pokud se objeví abnormální povlak, je třeba jej vyčistit a potvrdit. Normální barva povlaku křemíkového destičky v grafitové lodičce/nosiči je modrá. Pokud má destička jinou než modrou barvu, více barev nebo je barevný rozdíl mezi destičkami velký, jedná se o abnormální povlak a je třeba včas zjistit příčinu abnormality.
2) Poté, co personál procesu analyzuje stav povlakuGrafitový člun PECVD/nosič, určí, zda je třeba grafitovou loďku vyčistit a zda je třeba vyměnit hrot karty, a grafitová loďka/nosič, kterou je třeba vyčistit, bude předána personálu obsluhy zařízení k vyčištění.

 

3) Pografitová loďPokud je nosič poškozen, výrobní personál vyjme všechny křemíkové destičky z grafitové lodičky a pomocí stlačeného vzduchu (CDA) vytřídí fragmenty vgrafitová loďPo dokončení práce personál zařízení vyzdvihne jej do kyselinové nádrže, která byla připravena s určitým podílem roztoku HF pro čištění.

 

2. Čištění grafitové lodi

Doporučuje se použít 15–25% roztok kyseliny fluorovodíkové ve třech kolech čištění, každé po dobu 4–5 hodin, a během namáčení a čištění pravidelně probublávat dusík, což přidává přibližně půlhodinu čištění; poznámka: nedoporučuje se používat vzduch přímo jako zdroj plynu pro probublávání. Po moření oplachujte čistou vodou po dobu asi 10 hodin a ujistěte se, že je loď důkladně vyčištěna. Po čištění zkontrolujte povrch lodi, grafitový hrot a spoj plachty lodi a další části, zda na nich nejsou zbytky nitridu křemíku. Poté nechte dle požadavků uschnout.

3. Bezpečnostní opatření pro čištění

A) Protože kyselina HF je vysoce korozivní látka a má určitou těkavost, je pro obsluhu nebezpečná. Obsluha na čisticím stanovišti proto musí dodržovat bezpečnostní opatření a být řízena určenou osobou.

B) Doporučuje se loď rozebrat a během čištění vyčistit pouze grafitovou část, aby bylo možné důkladněji vyčistit každou kontaktní část. V současné době mnoho domácích výrobců používá celkové čištění, což je pohodlné, ale protože kyselina HF je korozivní pro keramické části, celkové čištění zkrátí životnost příslušných částí.