Hvernig á að þrífa PECVD grafítbát? | VET Energy

1. Staðfesting fyrir þrif

1) ÞegarPECVD grafítbáturEf grafítbáturinn/burðarefnið er notað meira en 100 til 150 sinnum þarf rekstraraðilinn að athuga ástand húðarinnar tímanlega. Ef óeðlileg húð er til staðar þarf að þrífa hana og staðfesta. Venjulegur litur húðarinnar á kísilplötunni í grafítbátnum/burðarefninu er blár. Ef platan er ekki blá, hefur marga liti eða litamunurinn á milli platnanna er mikill, þá er um óeðlilega húð að ræða og orsök óeðlileikans þarf að staðfesta tímanlega.
2) Eftir ferlið greinir starfsfólk ástand húðunarinnarPECVD grafítbátur/flutningsaðili, þeir munu ákvarða hvort grafítbáturinn þurfi að þrífa og hvort skipta þurfi um kortpunktinn, og grafítbáturinn/flutningsaðilinn sem þarf að þrífa verður afhentur starfsfólki búnaðarins til hreinsunar.

 

3) EftirgrafítbáturEf /flutningsbúnaðurinn er skemmdur mun framleiðslufólkið taka út allar kísilplöturnar úr grafítbátnum og nota þrýstiloft (CDA) til að flokka brotin í honum.grafítbáturAð því loknu lyftir starfsfólk búnaðarins því upp í sýrutankinn sem hefur verið útbúinn með ákveðnu hlutfalli af HF-lausn til hreinsunar.

 

2. Þrif á grafítbát

Mælt er með að nota 15-25% flúorsýrulausn í þrjár umferðir af hreinsun, í 4-5 klukkustundir í hverri umferð, og reglulega bæta við köfnunarefnisbólstrun meðan á bleyti og hreinsun stendur, og bæta við um hálftíma hreinsun; athugið: ekki er mælt með því að nota loft beint sem gasgjafa fyrir bólstrun. Eftir súrsun skal skola með hreinu vatni í um 10 klukkustundir og staðfesta að báturinn hafi verið vandlega hreinsaður. Eftir hreinsun skal athuga yfirborð bátsins, grafítspjaldsoddinn og samskeyti bátsins og aðra hluta til að sjá hvort einhverjar leifar af kísilnítríði séu til staðar. Þurrkið síðan samkvæmt kröfum.

3. Varúðarráðstafanir við þrif

A) Þar sem HF sýra er mjög ætandi efni og hefur ákveðna rokgjörnleika er hún hættuleg fyrir notendur. Þess vegna verða notendur á ræstingarstað að gera öryggisráðstafanir og vera undir stjórn sérhæfðs starfsmanns.

B) Mælt er með að taka bátinn í sundur og þrífa aðeins grafíthlutann við þrif, þannig að hægt sé að þrífa hvern snertihluta betur. Eins og er nota margir innlendir framleiðendur almenna þrif, sem er þægilegt, en þar sem HF sýra er ætandi fyrir keramikhluta, mun almenn þrif stytta endingartíma viðkomandi hluta.