1. सफा गर्नु अघि स्वीकृति
१) जबPECVD ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक १०० देखि १५० पटक भन्दा बढी प्रयोग गरिएको छ, अपरेटरले समयमै कोटिंग अवस्था जाँच गर्नुपर्छ। यदि असामान्य कोटिंग छ भने, यसलाई सफा गरेर पुष्टि गर्नुपर्छ। ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहकमा सिलिकन वेफरको सामान्य कोटिंग रङ नीलो हुन्छ। यदि वेफरमा नीलो नभएको, धेरै रङहरू छन्, वा वेफरहरू बीचको रङ भिन्नता ठूलो छ भने, यो असामान्य कोटिंग हो, र असामान्यताको कारण समयमै पुष्टि गर्न आवश्यक छ।
२) प्रक्रिया पछि कर्मचारीहरूले कोटिंग अवस्थाको विश्लेषण गर्छन्PECVD ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक, तिनीहरूले ग्रेफाइट डुङ्गा सफा गर्न आवश्यक छ कि छैन र कार्ड पोइन्ट बदल्न आवश्यक छ कि छैन भनेर निर्धारण गर्नेछन्, र सफा गर्न आवश्यक ग्रेफाइट डुङ्गा/वाहकलाई सफाईको लागि उपकरण कर्मचारीहरूलाई हस्तान्तरण गरिनेछ।
३) पछिग्रेफाइट डुङ्गा/वाहक क्षतिग्रस्त छ भने, उत्पादन कर्मचारीहरूले ग्रेफाइट डुङ्गामा रहेका सबै सिलिकन वेफरहरू निकाल्नेछन् र CDA (कम्प्रेस्ड एयर) प्रयोग गरेर टुक्राहरू छुट्याउनेछन्।ग्रेफाइट डुङ्गा। पूरा भएपछि, उपकरण कर्मचारीहरूले यसलाई सफा गर्नको लागि निश्चित अनुपातमा HF घोलको साथ तयार पारिएको एसिड ट्याङ्कीमा उठाउनेछन्।
2. ग्रेफाइट डुङ्गाको सफाई
तीन राउन्ड सफा गर्न १५-२५% हाइड्रोफ्लोरिक एसिड घोल प्रयोग गर्न सिफारिस गरिन्छ, प्रत्येक ४-५ घण्टाको लागि, र भिजाउने र सफा गर्ने प्रक्रियाको क्रममा आवधिक रूपमा नाइट्रोजन बबल गर्दै, लगभग आधा घण्टा सफा गर्ने; नोट: बबलिङको लागि ग्यास स्रोतको रूपमा हावा सिधै प्रयोग गर्न सिफारिस गरिएको छैन। अचार बनाएपछि, लगभग १० घण्टासम्म शुद्ध पानीले कुल्ला गर्नुहोस्, र डुङ्गा राम्ररी सफा गरिएको छ भनी पुष्टि गर्नुहोस्। सफा गरेपछि, कृपया डुङ्गाको सतह, ग्रेफाइट कार्ड पोइन्ट र डुङ्गा पाना जोड्ने ठाउँ, र अन्य भागहरू जाँच गर्नुहोस् कि त्यहाँ कुनै सिलिकन नाइट्राइड अवशेष छ कि छैन भनेर हेर्नुहोस्। त्यसपछि आवश्यकता अनुसार सुकाउनुहोस्।
३. सरसफाई सम्बन्धी सावधानीहरू
क) एचएफ एसिड अत्यधिक संक्षारक पदार्थ भएकोले र यसमा निश्चित अस्थिरता हुने भएकोले, यो सञ्चालकहरूको लागि खतरनाक छ। त्यसकारण, सफाई चौकीमा सञ्चालकहरूले सुरक्षा सावधानी अपनाउनुपर्छ र समर्पित व्यक्तिद्वारा व्यवस्थित हुनुपर्छ।
ख) डुङ्गालाई छुट्याउन र सफाई गर्दा ग्रेफाइट भाग मात्र सफा गर्न सिफारिस गरिन्छ, ताकि प्रत्येक सम्पर्क भागलाई अझ राम्ररी सफा गर्न सकियोस्। हाल, धेरै घरेलु उत्पादकहरूले समग्र सफाई प्रयोग गर्छन्, जुन सुविधाजनक छ, तर HF एसिड सिरेमिक भागहरूमा संक्षारक हुने भएकाले, समग्र सफाईले सम्बन्धित भागहरूको सेवा जीवन छोटो पार्नेछ।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-२३-२०२४