Hur man rengör en PECVD-grafitbåt? | VET Energy

1. Bekräftelse före rengöring

1) NärPECVD grafitbåtOm grafitbäraren/bäraren används mer än 100 till 150 gånger måste operatören kontrollera beläggningens skick i tid. Om det finns en onormal beläggning måste den rengöras och bekräftas. Den normala beläggningsfärgen på kiselskivan i grafitbåten/bäraren är blå. Om skivan inte är blå, har flera färger, eller om färgskillnaden mellan skivorna är stor, är det en onormal beläggning, och orsaken till avvikelsen måste bekräftas i tid.
2) Efter processen analyserar personalen beläggningens skickPECVD grafitbåt/bärare, de kommer att avgöra om grafitbåten behöver rengöras och om kortspetsen behöver bytas ut, och grafitbåten/bäraren som behöver rengöras kommer att överlämnas till utrustningspersonalen för rengöring.

 

3) Eftergrafitbåt/bäraren är skadad, kommer produktionspersonalen att ta ut alla kiselskivor i grafitbåten och använda CDA (tryckluft) för att sortera ut fragmenten igrafitbåtEfter färdigställandet lyfter personalen den in i syratanken som har förberetts med en viss andel HF-lösning för rengöring.

 

2. Rengöring av grafitbåt

Det rekommenderas att använda en 15-25% fluorvätesyralösning under tre rengöringsomgångar, vardera i 4-5 timmar, och regelbundet bubbla med kväve under blötläggnings- och rengöringsprocessen, vilket ger ungefär en halvtimme rengöring. Observera: det rekommenderas inte att använda luft direkt som gaskälla för bubblande. Efter betning, skölj med rent vatten i cirka 10 timmar och bekräfta att båten har rengjorts noggrant. Kontrollera båtens yta, grafitkartspetsen och båtplåtsskarven samt andra delar efter rengöring för att se om det finns några kiselnitridrester. Torka sedan enligt anvisningarna.

3. Rengöringsåtgärder

A) Eftersom högfrekvent syra är ett mycket frätande ämne och har en viss flyktighet är det farligt för operatörerna. Därför måste operatörer vid städstationen vidta säkerhetsåtgärder och hanteras av en särskild person.

B) Det rekommenderas att demontera båten och endast rengöra grafitdelen under rengöringen, så att varje kontaktdel kan rengöras mer noggrant. För närvarande använder många inhemska tillverkare total rengöring, vilket är bekvämt, men eftersom HF-syra är frätande för keramiska delar, kommer total rengöring att förkorta livslängden för motsvarande delar.