Kif tnaddaf dgħajsa tal-grafita PECVD?| Enerġija VET

1. Rikonoxximent qabel it-tindif

1) Meta l-Dgħajsa tal-grafita PECVDJekk il-wafer/trasportatur jintuża aktar minn 100 sa 150 darba, l-operatur jeħtieġ li jiċċekkja l-kundizzjoni tal-kisi fil-ħin. Jekk ikun hemm kisi anormali, jeħtieġ li jitnaddaf u jiġi kkonfermat. Il-kulur normali tal-kisi tal-wejfer tas-silikon fid-dgħajsa/trasportatur tal-grafita huwa blu. Jekk il-wejfer għandu kuluri mhux blu, kuluri multipli, jew id-differenza fil-kulur bejn il-wejfers hija kbira, huwa kisi anormali, u l-kawża tal-anormalità teħtieġ li tiġi kkonfermata fil-ħin.
2) Wara l-proċess, il-persunal janalizza l-kundizzjoni tal-kisi tal-Dgħajsa tal-grafita PECVD/trasportatur, huma jiddeterminaw jekk id-dgħajsa tal-grafita teħtieġx li titnaddaf u jekk il-punt tal-kard jeħtieġ li jiġi mibdul, u d-dgħajsa/trasportatur tal-grafita li teħtieġ li titnaddaf tingħata lill-persunal tat-tagħmir għat-tindif.

 

3) Wara l-dgħajsa tal-grafita/trasportatur ikun bil-ħsara, il-persunal tal-produzzjoni se joħroġ il-wejfers tas-silikon kollha fid-dgħajsa tal-grafita u juża CDA (arja kkompressata) biex jissepara l-frammenti fid-dgħajsadgħajsa tal-grafitaWara t-tlestija, il-persunal tat-tagħmir se jerfgħu fit-tank tal-aċidu li jkun ġie ppreparat b'ċertu proporzjon ta' soluzzjoni HF għat-tindif.

 

2. Tindif ta' dgħajsa tal-grafita

Huwa rakkomandat li tuża soluzzjoni ta' aċidu idrofluworiku ta' 15-25% għal tliet rawnds ta' tindif, kull wieħed għal 4-5 sigħat, u li tbaqbaq in-nitroġenu perjodikament matul il-proċess tat-tixrib u t-tindif, u żżid madwar nofs siegħa ta' tindif; nota: mhux rakkomandat li tuża l-arja direttament bħala s-sors tal-gass għat-tbaqbiq. Wara l-ippreservar, laħlaħ b'ilma pur għal madwar 10 sigħat, u kkonferma li d-dgħajsa ġiet imnaddfa sewwa. Wara t-tindif, jekk jogħġbok iċċekkja l-wiċċ tad-dgħajsa, il-punt tal-karta tal-grafita u l-ġonta tal-folja tad-dgħajsa, u partijiet oħra biex tara jekk hemmx xi residwu ta' nitrur tas-silikon. Imbagħad nixxef skont ir-rekwiżiti.

3. Prekawzjonijiet għat-tindif

A) Peress li l-aċidu HF huwa sustanza korrużiva ħafna u għandu ċerta volatilità, huwa perikoluż għall-operaturi. Għalhekk, l-operaturi fil-post tat-tindif għandhom jieħdu prekawzjonijiet ta' sigurtà u jiġu mmaniġġjati minn persuna ddedikata.

B) Huwa rrakkomandat li d-dgħajsa tiġi żarmata u titnaddaf biss il-parti tal-grafita waqt it-tindif, sabiex kull parti ta' kuntatt tkun tista' titnaddaf aktar bir-reqqa. Bħalissa, ħafna manifatturi domestiċi jużaw tindif ġenerali, li huwa konvenjenti, iżda minħabba li l-aċidu HF huwa korrużiv għall-partijiet taċ-ċeramika, it-tindif ġenerali se jqassar il-ħajja tas-servizz tal-partijiet korrispondenti.