1. ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಮೊದಲು ಸ್ವೀಕೃತಿ
1) ಯಾವಾಗPECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/carrier ಅನ್ನು 100 ರಿಂದ 150 ಕ್ಕೂ ಹೆಚ್ಚು ಬಾರಿ ಬಳಸಿದರೆ, ಆಪರೇಟರ್ ಲೇಪನದ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಸಮಯಕ್ಕೆ ಪರಿಶೀಲಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಅಸಹಜ ಲೇಪನವಿದ್ದರೆ, ಅದನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ದೃಢೀಕರಿಸಬೇಕು. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ವಾಹಕದಲ್ಲಿರುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ನ ಸಾಮಾನ್ಯ ಲೇಪನದ ಬಣ್ಣ ನೀಲಿ ಬಣ್ಣದ್ದಾಗಿರುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ನೀಲಿ ಅಲ್ಲದ, ಬಹು ಬಣ್ಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ವೇಫರ್ಗಳ ನಡುವಿನ ಬಣ್ಣ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದ್ದರೆ, ಅದು ಅಸಹಜ ಲೇಪನವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅಸಹಜತೆಯ ಕಾರಣವನ್ನು ಸಮಯಕ್ಕೆ ದೃಢೀಕರಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
2) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಂತರ ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಲೇಪನ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುತ್ತಾರೆPECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ವಾಹಕ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕೇ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಡ್ ಪಾಯಿಂಟ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕೇ ಎಂಬುದನ್ನು ಅವರು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕಾದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ವಾಹಕವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸಲಕರಣೆ ಸಿಬ್ಬಂದಿಗೆ ಹಸ್ತಾಂತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
3) ನಂತರಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ/ ವಾಹಕವು ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗಿದ್ದರೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಯಲ್ಲಿರುವ ಎಲ್ಲಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಹೊರತೆಗೆದು, ಸಿಡಿಎ (ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ) ಬಳಸಿ ತುಣುಕುಗಳನ್ನು ವಿಂಗಡಿಸುತ್ತಾರೆ.ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಅದನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ HF ದ್ರಾವಣದೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾದ ಆಮ್ಲ ಟ್ಯಾಂಕ್ಗೆ ಎತ್ತುತ್ತಾರೆ.
2. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ
ಮೂರು ಸುತ್ತಿನ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ 15-25% ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲದ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಬಳಸಲು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ 4-5 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ, ಮತ್ತು ನೆನೆಸಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿಯತಕಾಲಿಕವಾಗಿ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಬಬ್ಲಿಂಗ್ ಮಾಡಿ, ಸುಮಾರು ಅರ್ಧ ಘಂಟೆಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸೇರಿಸಿ; ಗಮನಿಸಿ: ಬಬ್ಲಿಂಗ್ಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಅನಿಲ ಮೂಲವಾಗಿ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಬಳಸಲು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ. ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ಹಾಕಿದ ನಂತರ, ಸುಮಾರು 10 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ಶುದ್ಧ ನೀರಿನಿಂದ ತೊಳೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ದೋಣಿಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ. ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿದ ನಂತರ, ದಯವಿಟ್ಟು ದೋಣಿಯ ಮೇಲ್ಮೈ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕಾರ್ಡ್ ಪಾಯಿಂಟ್ ಮತ್ತು ದೋಣಿ ಹಾಳೆಯ ಜಂಟಿ ಮತ್ತು ಇತರ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ ಯಾವುದೇ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಅವಶೇಷವಿದೆಯೇ ಎಂದು ನೋಡಿ. ನಂತರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಒಣಗಿಸಿ.
3. ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳು
ಎ) HF ಆಮ್ಲವು ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ವಸ್ತುವಾಗಿರುವುದರಿಂದ ಮತ್ತು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಚಂಚಲತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದರಿಂದ, ಇದು ನಿರ್ವಾಹಕರಿಗೆ ಅಪಾಯಕಾರಿ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪೋಸ್ಟ್ನಲ್ಲಿರುವ ನಿರ್ವಾಹಕರು ಸುರಕ್ಷತಾ ಮುನ್ನೆಚ್ಚರಿಕೆಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ಸಮರ್ಪಿತ ವ್ಯಕ್ತಿಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಲ್ಪಡಬೇಕು.
ಬಿ) ದೋಣಿಯನ್ನು ಡಿಸ್ಅಸೆಂಬಲ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗವನ್ನು ಮಾತ್ರ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸೂಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಸಂಪರ್ಕ ಭಾಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಅನೇಕ ದೇಶೀಯ ತಯಾರಕರು ಒಟ್ಟಾರೆ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ, ಇದು ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ HF ಆಮ್ಲವು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ನಾಶಕಾರಿಯಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ಒಟ್ಟಾರೆ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಅನುಗುಣವಾದ ಭಾಗಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-23-2024