1. د پاکولو دمخه اعتراف
۱) کله چېد PECVD ګرافایټ کښتۍ/ کیریر له ۱۰۰ څخه تر ۱۵۰ ځله زیات کارول کیږي، آپریټر اړتیا لري چې د کوټینګ حالت په وخت سره وګوري. که چیرې غیر معمولي کوټینګ شتون ولري، نو باید پاک او تایید شي. د ګرافایټ کښتۍ / کیریر کې د سیلیکون ویفر نورمال کوټینګ رنګ نیلي دی. که چیرې ویفر غیر نیلي، څو رنګونه ولري، یا د ویفرونو ترمنځ د رنګ توپیر لوی وي، نو دا یو غیر معمولي کوټینګ دی، او د غیر معمولي والي لامل باید په وخت سره تایید شي.
۲) د پروسې وروسته پرسونل د پوښ حالت تحلیل کويد PECVD ګرافایټ کښتۍ/ بار وړونکی، دوی به معلومه کړي چې ایا د ګرافایټ کښتۍ پاکولو ته اړتیا لري او ایا د کارت نقطه بدلولو ته اړتیا لري، او هغه ګرافایټ کښتۍ / بار وړونکی چې پاکولو ته اړتیا لري د پاکولو لپاره به د تجهیزاتو کارمندانو ته وسپارل شي.
۳) وروسته لهګرافایټ کښتۍ/ بار وړونکی زیانمن شوی وي، د تولید پرسونل به د ګرافایټ کښتۍ کې ټول سیلیکون ویفرونه وباسي او د CDA (کمپریس شوي هوا) څخه به د ټوټې ټوټې کولو لپاره کار واخلي.ګرافایټ کښتۍد بشپړیدو وروسته، د تجهیزاتو پرسونل به دا د تیزاب ټانک ته پورته کړي چې د پاکولو لپاره د HF محلول د یوې ټاکلې اندازې سره چمتو شوی وي.
2. د ګرافایټ کښتۍ پاکول
سپارښتنه کیږي چې د پاکولو درې پړاوونو لپاره د ۱۵-۲۵٪ هایدروفلوریک اسید محلول وکاروئ، هر یو یې د ۴-۵ ساعتونو لپاره، او په دوره یي ډول د لندبل او پاکولو پروسې په جریان کې نایتروجن غوړ کړئ، شاوخوا نیم ساعت پاکول اضافه کړئ؛ یادونه: دا سپارښتنه نه کیږي چې د بلبل کولو لپاره د ګاز سرچینې په توګه مستقیم هوا وکاروئ. د اچار کولو وروسته، د شاوخوا ۱۰ ساعتونو لپاره د پاکو اوبو سره مینځل، او تایید کړئ چې کښتۍ په بشپړه توګه پاکه شوې ده. د پاکولو وروسته، مهرباني وکړئ د کښتۍ سطحه، د ګرافیت کارت نقطه او د کښتۍ شیټ ګډ، او نورې برخې وګورئ ترڅو وګورئ چې ایا د سیلیکون نایټرایډ پاتې شوني شتون لري. بیا د اړتیاو سره سم وچ کړئ.
۳. د پاکولو احتیاطي تدابیر
الف) څرنګه چې د HF اسید یو ډیر زنګ وهونکی ماده ده او یو څه بې ثباتي لري، نو دا د چلونکو لپاره خطرناک دی. له همدې امله، د پاکولو په پوسته کې چلونکي باید د خوندیتوب احتیاطي تدابیر ونیسي او د یو وقف شوي کس لخوا اداره شي.
ب) سپارښتنه کیږي چې د کښتۍ جلا کول او د پاکولو پرمهال یوازې د ګرافایټ برخه پاکه کړئ، ترڅو د تماس هره برخه په ښه توګه پاکه شي. اوس مهال، ډیری کورني تولیدونکي ټولیز پاکول کاروي، کوم چې اسانه دی، مګر ځکه چې HF اسید د سیرامیک برخو لپاره زنګ وهونکی دی، نو ټولیز پاکول به د اړوندو برخو د خدمت ژوند لنډ کړي.
د پوسټ وخت: دسمبر-۲۳-۲۰۲۴