1. Kinnitus enne puhastamist
1) KuiPECVD grafiidist paatKui kihte/kandjat kasutatakse rohkem kui 100–150 korda, peab operaator katte seisukorda õigeaegselt kontrollima. Ebanormaalse katte korral tuleb see puhastada ja kinnitada. Grafiitpaadi/kandja räniplaadi tavaline katte värvus on sinine. Kui kiht ei ole sinine, on mitu värvi või kihtide värvide erinevus on suur, on tegemist ebanormaalse kattega ja anomaalia põhjus tuleb õigeaegselt välja selgitada.
2) Pärast seda, kui protsessipersonal on analüüsinud katte seisukordaPECVD grafiidist paat/kandja, teevad nad kindlaks, kas grafiidipaati on vaja puhastada ja kas kaardipunkt on vaja välja vahetada, ning puhastamist vajav grafiidipaat/kandja antakse puhastamiseks üle varustuse personalile.
3) Pärastgrafiidist paatKui /kandja on kahjustatud, võtab tootmispersonal grafiidipaadis olevast räniplaadist välja ja sorteerib killud suruõhu abil.grafiidist paatPärast lõpetamist tõstab seadme personal selle happepaaki, mis on puhastamiseks ette valmistatud teatud koguse HF-lahusega.
2. Grafiidist paadi puhastamine
Soovitatav on kasutada 15–25% vesinikfluoriidhappe lahust kolme puhastusvooru jooksul, igaüks 4–5 tundi, ning leotamise ja puhastamise ajal perioodiliselt lämmastikku mullitada, lisades puhastusprotsessile umbes pool tundi; märkus: ei ole soovitatav kasutada õhku otse gaasiallikana mullitamiseks. Pärast marineerimist loputage paati umbes 10 tundi puhta veega ja veenduge, et see on korralikult puhastatud. Pärast puhastamist kontrollige paadi pinda, grafiitkaardi otsa ja paadi lehe ühenduskohta ning muid osi, et näha, kas seal on räninitriidi jääke. Seejärel kuivatage vastavalt nõuetele.
3. Puhastamise ettevaatusabinõud
A) Kuna HF-hape on väga söövitav aine ja teatud lenduvusega, on see operaatoritele ohtlik. Seetõttu peavad puhastuspunkti operaatorid võtma ohutusmeetmeid ja neid peab juhtima selleks spetsialiseerunud isik.
B) Soovitatav on paat lahti võtta ja puhastamise ajal puhastada ainult grafiidist osa, et iga kontaktosa saaks põhjalikumalt puhastada. Praegu kasutavad paljud kodumaised tootjad üldist puhastust, mis on mugav, kuid kuna HF-hape on keraamilistele osadele söövitav, lühendab üldine puhastamine vastavate osade kasutusiga.
Postituse aeg: 23. detsember 2024