1. Pengakuan sebelum pembersihan
1) ApabilaBot grafit PECVDJika pembawa/pembawa digunakan lebih daripada 100 hingga 150 kali, pengendali perlu memeriksa keadaan salutan tepat pada masanya. Jika terdapat salutan yang tidak normal, ia perlu dibersihkan dan disahkan. Warna salutan biasa wafer silikon dalam bot/pembawa grafit ialah biru. Jika wafer mempunyai pelbagai warna bukan biru, atau perbezaan warna antara wafer adalah besar, ia adalah salutan yang tidak normal, dan punca keabnormalan perlu disahkan tepat pada masanya.
2) Selepas proses, kakitangan menganalisis keadaan salutanBot grafit PECVD/pembawa, mereka akan menentukan sama ada bot grafit perlu dibersihkan dan sama ada titik kad perlu diganti, dan bot/pembawa grafit yang perlu dibersihkan akan diserahkan kepada kakitangan peralatan untuk dibersihkan.
3) Selepasbot grafit/pembawa rosak, kakitangan pengeluaran akan mengeluarkan semua wafer silikon di dalam bot grafit dan menggunakan CDA (udara termampat) untuk mengasingkan serpihan di dalambot grafitSelepas siap, kakitangan peralatan akan mengangkatnya ke dalam tangki asid yang telah disediakan dengan kadar larutan HF tertentu untuk pembersihan.
2. Pembersihan bot grafit
Adalah disyorkan untuk menggunakan larutan asid hidrofluorik 15-25% untuk tiga pusingan pembersihan, setiap satu selama 4-5 jam, dan secara berkala menggelegakkan nitrogen semasa proses perendaman dan pembersihan, dengan menambah kira-kira setengah jam pembersihan; nota: tidak digalakkan menggunakan udara secara langsung sebagai sumber gas untuk menggelegak. Selepas penjerukan, bilas dengan air tulen selama kira-kira 10 jam, dan sahkan bahawa bot telah dibersihkan dengan teliti. Selepas pembersihan, sila periksa permukaan bot, titik kad grafit dan sambungan kepingan bot, dan bahagian lain untuk melihat sama ada terdapat sebarang sisa silikon nitrida. Kemudian keringkan mengikut keperluan.
3. Langkah berjaga-jaga pembersihan
A) Memandangkan asid HF merupakan bahan yang sangat menghakis dan mempunyai volatiliti tertentu, ia berbahaya kepada pengendali. Oleh itu, pengendali di pos pembersihan mesti mengambil langkah berjaga-jaga keselamatan dan diuruskan oleh orang yang berdedikasi.
B) Adalah disyorkan untuk membuka bot dan hanya membersihkan bahagian grafit semasa pembersihan, supaya setiap bahagian yang bersentuhan dapat dibersihkan dengan lebih teliti. Pada masa ini, banyak pengeluar domestik menggunakan pembersihan keseluruhan, yang mudah, tetapi kerana asid HF menghakis bahagian seramik, pembersihan keseluruhan akan memendekkan jangka hayat bahagian yang sepadan.
Masa siaran: 23 Dis-2024