PECVD графит кайыгын кантип тазалоо керек？| VET Energy

1. Тазалоодон мурун тастыктоо

1) КачанPECVD графит кайыгыЭгерде /алып жүрүүчү пластина 100дөн 150гө чейин жолу колдонулса, оператор каптоонун абалын өз убагында текшерип турушу керек. Эгерде анормалдуу каптоо болсо, аны тазалап, ырастоо керек. Графит кайыгындагы/алып жүрүүчү пластинадагы кремний пластинасынын кадимки каптоо түсү көк. Эгерде пластина көк эмес, бир нече түстө болсо же пластиналардын ортосундагы түс айырмасы чоң болсо, анда ал анормалдуу каптоо болуп саналат жана анормалдуулуктун себебин өз убагында ырастоо керек.
2) Процесстен кийин персонал каптоо абалын талдайтPECVD графит кайыгы/алып жүрүүчү, алар графит кайыкты тазалоо керекпи же жокпу жана картанын чекитин алмаштыруу керекпи же жокпу аныкташат, ал эми тазалоо керек болгон графит кайык/алып жүрүүчү тазалоо үчүн жабдуулардын персоналына өткөрүлүп берилет.

 

3) Андан кийинграфит кайыгыЭгерде ташуучу бузулуп калса, өндүрүш кызматкерлери графит кайыгындагы бардык кремний пластиналарын алып чыгып, CDA (кысылган аба) колдонуп, фрагменттерди иргешет.графит кайыгыАяктагандан кийин, жабдуулардын кызматкерлери аны тазалоо үчүн белгилүү бир үлүшү HF эритмеси менен даярдалган кислота резервуарына көтөрүп салышат.

 

2. Графит кайыгын тазалоо

Үч айлампа тазалоо үчүн 15-25% фтор кислотасынын эритмесин колдонуу сунушталат, ар бири 4-5 сааттан, жана чылоо жана тазалоо процессинде мезгил-мезгили менен азотту көбүктөндүрүп, жарым сааттай тазалоо кошуу сунушталат; эскертүү: көбүктөндүрүү үчүн газ булагы катары түз абаны колдонуу сунушталбайт. Туздалгандан кийин, болжол менен 10 саат бою таза суу менен чайкап, кайыктын толук тазаланганын ырастаңыз. Тазалагандан кийин, кайыктын бетин, графит картасынын учун жана кайыктын барак муундарын жана башка бөлүктөрүн кремний нитридинин калдыктары бар-жогун текшериңиз. Андан кийин талаптарга ылайык кургатыңыз.

3. Тазалоо боюнча сактык чаралары

A) HF кислотасы өтө коррозиялык зат болгондуктан жана белгилүү бир туруксуздукка ээ болгондуктан, ал операторлор үчүн кооптуу. Ошондуктан, тазалоочу посттогу операторлор коопсуздук чараларын көрүшү керек жана аларды атайын адис башкарат.

B) Кайыкты бөлүктөргө бөлүп, графит бөлүгүн тазалоо учурунда гана тазалоо сунушталат, ошондо ар бир тийүүчү бөлүк кылдаттык менен тазаланат. Учурда көптөгөн ата мекендик өндүрүүчүлөр жалпы тазалоону колдонушат, бул ыңгайлуу, бирок HF кислотасы керамикалык бөлүктөргө коррозия жаратуучу болгондуктан, жалпы тазалоо тиешелүү бөлүктөрүнүн иштөө мөөнөтүн кыскартат.