Cumu pulisce a barca di grafite PECVD? | VET Energy

1. Riconoscimentu prima di a pulizia

1) Quandu uBarca di grafite PECVD/carrier hè adupratu più di 100 à 150 volte, l'operatore hà bisognu di verificà a cundizione di u rivestimentu in tempu. S'ellu ci hè un rivestimentu anormale, deve esse pulitu è ​​​​cunfirmatu. U culore nurmale di u rivestimentu di a cialda di siliciu in a barca / supportu di grafite hè turchinu. Se a cialda hà culori micca turchini, culori multipli, o a differenza di culore trà e cialde hè grande, hè un rivestimentu anormale, è a causa di l'anormalità deve esse cunfirmata in tempu.
2) Dopu chì u persunale di u prucessu analizeghja a cundizione di u rivestimentu di uBarca di grafite PECVD/trasportatore, determineranu se a barca di grafite hà bisognu di esse pulita è se u puntu di a carta hà bisognu di esse rimpiazzatu, è a barca / trasportatore di grafite chì hà bisognu di esse pulita serà consegnata à u persunale di l'attrezzatura per a pulizia.

 

3) Dopu àbarca di grafite/u trasportatore hè dannighjatu, u persunale di pruduzzione caccierà tutte e cialde di siliciu in a barca di grafite è aduprerà CDA (aria compressa) per sorte i frammenti in ubarca di grafiteDopu à a fine, u persunale di l'attrezzatura u metterà in u tank d'acidu chì hè statu preparatu cù una certa proporzione di suluzione HF per a pulizia.

 

2. Pulizia di a barca di grafite

Hè cunsigliatu d'utilizà una suluzione d'acidu fluoridricu à 15-25% per trè cicli di pulizia, ognunu per 4-5 ore, è di fà bollire periodicamente azotu durante u prucessu di ammollo è di pulizia, aghjunghjendu circa una mezz'ora di pulizia; nota: ùn hè micca cunsigliatu d'utilizà l'aria direttamente cum'è fonte di gas per a bollitura. Dopu u decapaggio, sciacquate cù acqua pura per circa 10 ore, è cunfirmate chì a barca hè stata pulita accuratamente. Dopu a pulizia, verificate a superficia di a barca, a punta di a carta di grafite è a giuntura di a lamiera di a barca, è altre parti per vede s'ellu ci hè qualchì residuu di nitruro di siliciu. Poi asciugate secondu i requisiti.

3. Precauzioni di pulizia

A) Siccomu l'acidu HF hè una sustanza assai currusiva è hà una certa volatilità, hè periculosu per l'operatori. Dunque, l'operatori à u postu di pulizia devenu piglià precauzioni di sicurezza è esse gestiti da una persona dedicata.

B) Hè cunsigliatu di smuntà a barca è di pulisce solu a parte di grafite durante a pulizia, affinchì ogni parte di cuntattu possi esse pulita più accuratamente. Attualmente, parechji pruduttori naziunali utilizanu una pulizia generale, chì hè cunveniente, ma postu chì l'acidu HF hè currusivu per e parti ceramiche, a pulizia generale accurterà a vita di serviziu di e parti currispondenti.