1. Patvirtinimas prieš valymą
1) KaiPECVD grafito valtisJei nešiklis naudojamas daugiau nei 100–150 kartų, operatorius turi laiku patikrinti dangos būklę. Jei danga yra nenormali, ją reikia išvalyti ir patvirtinti. Įprasta grafito valtyje/nešiklyje esančios silicio plokštelės dangos spalva yra mėlyna. Jei plokštelė nėra mėlyna, yra kelių spalvų arba plokštelių spalvų skirtumas yra didelis, tai yra nenormali danga, ir anomalijos priežastį reikia laiku patvirtinti.
2) Po to, kai proceso personalas išanalizuoja dangos būklęPECVD grafito valtis/nešioklį, jie nustatys, ar reikia išvalyti grafitinę valtį ir ar reikia pakeisti kortelių tvirtinimo tašką, o grafitinė valtis /nešioklė, kurią reikia išvalyti, bus perduota įrangos personalui valyti.
3) Po tografito valtis/nešiklis pažeistas, gamybos personalas išims visas silicio plokšteles iš grafito valties ir suslėgto oro (CDA) metodu surūšiuos fragmentus.grafito valtisBaigus darbą, įrangos personalas ją perkels į rūgšties baką, kuris buvo paruoštas tam tikru HF tirpalo santykiu valymui.
2. Grafito valties valymas
Rekomenduojama naudoti 15–25 % vandenilio fluorido rūgšties tirpalą trims valymo ciklams, kiekvieną kartą po 4–5 valandas, periodiškai burbuliuojant azotu mirkymo ir valymo proceso metu, pridedant apie pusvalandį valymo; pastaba: nerekomenduojama naudoti oro tiesiogiai kaip dujų šaltinio burbuliavimui. Po marinavimo, maždaug 10 valandų skalaukite grynu vandeniu ir įsitikinkite, kad valtis buvo kruopščiai išvalyta. Po valymo patikrinkite valties paviršių, grafito kortelės tašką ir valties lakšto jungtį bei kitas dalis, ar nėra silicio nitrido likučių. Tada išdžiovinkite pagal reikalavimus.
3. Valymo atsargumo priemonės
A) Kadangi HF rūgštis yra labai ėsdinanti medžiaga ir pasižymi tam tikru lakumu, ji pavojinga operatoriams. Todėl valymo poste dirbantys operatoriai privalo imtis saugos priemonių ir būti prižiūrimi specialiai tam paskirto asmens.
B) Valymo metu rekomenduojama išardyti valtį ir valyti tik grafitinę dalį, kad kiekviena kontaktinė dalis būtų kruopščiai išvalyta. Šiuo metu daugelis vietinių gamintojų naudoja bendrą valymą, kuris yra patogus, tačiau kadangi HF rūgštis ėsdina keramines dalis, bendras valymas sutrumpins atitinkamų dalių tarnavimo laiką.
Įrašo laikas: 2024 m. gruodžio 23 d.