როგორ გავწმინდოთ PECVD გრაფიტის ნავი? | VET Energy

1. დასუფთავების წინ აღიარება

1) როდესაცPECVD გრაფიტის ნავითუ მატარებელი 100-150-ჯერ მეტჯერ გამოიყენება, ოპერატორმა დროულად უნდა შეამოწმოს საფარის მდგომარეობა. თუ საფარი ანომალიურია, ის უნდა გაიწმინდოს და დადასტურდეს. გრაფიტის ნავში/მატარებელში სილიკონის ვაფლის ნორმალური საფარის ფერი ლურჯია. თუ ვაფლს არ აქვს ლურჯი ფერი, რამდენიმე ფერი აქვს, ან ვაფლებს შორის ფერის სხვაობა დიდია, ეს ანომალიური საფარია და ანომალიის მიზეზი დროულად უნდა დადასტურდეს.
2) პროცესის შემდეგ, პერსონალი აანალიზებს საფარის მდგომარეობასPECVD გრაფიტის ნავი/გადამზიდავი, ისინი დაადგენენ, საჭიროა თუ არა გრაფიტის ნავის გაწმენდა და ბარათის წერტილის შეცვლა, ხოლო გასაწმენდი გრაფიტის ნავი/გადამზიდავი გასაწმენდად გადაეცემა აღჭურვილობის პერსონალს.

 

3) მას შემდეგ, რაცგრაფიტის ნავი/გადამზიდავი დაზიანებულია, წარმოების პერსონალი ამოიღებს გრაფიტის ნავში არსებულ ყველა სილიკონის ვაფლს და გამოიყენებს CDA-ს (შეკუმშული ჰაერი) ფრაგმენტების გასარჩევად.გრაფიტის ნავიდასრულების შემდეგ, აღჭურვილობის პერსონალი მას მჟავას ავზში აიტანს, რომელიც გასაწმენდად HF ხსნარის გარკვეული პროპორციით არის მომზადებული.

 

2. გრაფიტის ნავის გაწმენდა

რეკომენდებულია 15-25%-იანი ფტორწყალბადმჟავას ხსნარის გამოყენება სამი გაწმენდის ციკლისთვის, თითოეული 4-5 საათის განმავლობაში, და პერიოდულად აზოტის ბუშტუკებით გაჟღენთვა დასველებისა და გაწმენდის პროცესში, რასაც დაახლოებით ნახევარი საათი სჭირდება; შენიშვნა: ბუშტუკების გასაჟღენთად ჰაერის პირდაპირ გამოყენება არ არის რეკომენდებული. დამარინადების შემდეგ, დაახლოებით 10 საათის განმავლობაში ჩამოიბანეთ სუფთა წყლით და დარწმუნდით, რომ ნავი კარგად არის გაწმენდილი. გაწმენდის შემდეგ, გთხოვთ, შეამოწმოთ ნავის ზედაპირი, გრაფიტის მუყაოს წვერი და ნავის ფურცლის შეერთება, ასევე სხვა ნაწილები, რათა ნახოთ, არის თუ არა სილიციუმის ნიტრიდის ნარჩენები. შემდეგ გააშრეთ მოთხოვნების შესაბამისად.

3. დასუფთავების სიფრთხილის ზომები

ა) ვინაიდან HF მჟავა ძლიერ კოროზიული ნივთიერებაა და გარკვეული აქროლადობა აქვს, ის საშიშია ოპერატორებისთვის. ამიტომ, დასუფთავების პუნქტში ოპერატორებმა უნდა დაიცვან უსაფრთხოების ზომები და მათთან უნდა იმყოფებოდნენ სპეციალიზებული პირი.

ბ) რეკომენდებულია ნავის დაშლა და გაწმენდის დროს მხოლოდ გრაფიტის ნაწილის გაწმენდა, რათა თითოეული შეხების ნაწილი უფრო საფუძვლიანად გაიწმინდოს. ამჟამად, ბევრი ადგილობრივი მწარმოებელი იყენებს საერთო წმენდას, რაც მოსახერხებელია, მაგრამ რადგან HF მჟავა კოროზიულია კერამიკული ნაწილებისთვის, საერთო წმენდა შეამცირებს შესაბამისი ნაწილების მომსახურების ვადას.