Unsaon paglimpyo sa PECVD graphite boat？| VET Energy

1. Pag-ila sa dili pa ang pagpanglimpyo

1) Sa dihang angPECVD nga sakayan nga grapaytKon ang /carrier gigamit og sobra sa 100 ngadto sa 150 ka beses, kinahanglan nga susihon sa operator ang kondisyon sa coating sa tukmang panahon. Kon adunay abnormal nga coating, kinahanglan kining limpyohan ug kumpirmahon. Ang normal nga kolor sa coating sa silicon wafer sa graphite boat/carrier kay asul. Kon ang wafer adunay dili asul, daghang kolor, o dako ang kalainan sa kolor tali sa mga wafer, kini usa ka abnormal nga coating, ug ang hinungdan sa abnormalidad kinahanglan nga kumpirmahon sa tukmang panahon.
2) Human sa proseso, analisahon sa mga personahe ang kondisyon sa coating saPECVD nga sakayan nga grapayt/carrier, sila ang modeterminar kung kinahanglan ba limpyohan ang graphite boat ug kung kinahanglan ba ilisan ang card point, ug ang graphite boat/carrier nga kinahanglan limpyohan itugyan ngadto sa mga personahe sa kagamitan alang sa paglimpyo.

 

3) Human sasakayan nga grapayt/kon madaot ang carrier, ang mga production personnel mokuha sa tanang silicon wafers sa graphite boat ug mogamit og CDA (compressed air) aron ma-sort ang mga fragment sasakayan nga grapaytHuman sa pagkompleto, ang mga personahe sa kagamitan moalsa niini ngadto sa tangke sa asido nga giandam nga adunay piho nga proporsyon sa solusyon sa HF alang sa paglimpyo.

 

2. Paglimpyo sa sakayan nga grapayt

Girekomendar ang paggamit og 15-25% nga hydrofluoric acid solution sulod sa tulo ka hugna sa pagpanglimpyo, matag usa sulod sa 4-5 ka oras, ug panagsa nga magbula ang nitroheno atol sa proseso sa pagpahumol ug pagpanglimpyo, dugangi og mga tunga sa oras nga pagpanglimpyo; timan-i: dili girekomenda nga gamiton ang hangin direkta isip tinubdan sa gas para sa pagbula. Human sa pag-atsara, hugasi gamit ang purong tubig sulod sa mga 10 ka oras, ug siguroha nga ang sakayan hingpit nga nalimpyohan. Human sa pagpanglimpyo, palihug susiha ang nawong sa sakayan, ang graphite card point ug ang boat sheet joint, ug uban pang mga parte aron makita kung adunay nahabilin nga silicon nitride. Dayon paugha sumala sa gikinahanglan.

3. Mga pag-amping sa pagpanglimpyo

A) Tungod kay ang HF acid usa ka substansiya nga daling madaot ug dali moalisngaw, kini delikado sa mga operator. Busa, ang mga operator sa cleaning post kinahanglan nga mohimo og mga pag-amping sa kaluwasan ug dumalahon sa usa ka dedikado nga tawo.

B) Girekomenda nga bungkagon ang sakayan ug limpyohan lang ang graphite nga bahin atol sa pagpanglimpyo, aron ang matag contact nga bahin malimpyohan og maayo. Sa pagkakaron, daghang mga lokal nga tiggama ang naggamit og overall cleaning, nga sayon ​​ra, apan tungod kay ang HF acid makadaot sa mga ceramic nga bahin, ang overall cleaning makapamubo sa kinabuhi sa katugbang nga mga bahin.