Як почистити графітовий човен PECVD? | VET Energy

1. Підтвердження перед прибиранням

1) КолиГрафітовий човен PECVDЯкщо носій/пластина використовується більше 100-150 разів, оператор повинен своєчасно перевіряти стан покриття. Якщо є аномальне покриття, його потрібно очистити та підтвердити. Нормальний колір покриття кремнієвої пластини в графітовому човнику/носії - блакитний. Якщо пластина має неблакитний колір, кілька кольорів або різниця в кольорі між пластинами велика, це аномальне покриття, і причину аномалії необхідно своєчасно з'ясувати.
2) Після завершення процесу персонал аналізує стан покриттяГрафітовий човен PECVD/носій, вони визначать, чи потрібно чистити графітовий човен і чи потрібно замінити картковий наконечник, а графітовий човен/носій, який потребує очищення, буде передано персоналу з обслуговування обладнання для очищення.

 

3) Після того, якграфітовий човен/носій пошкоджений, виробничий персонал вийме всі кремнієві пластини з графітового човника та за допомогою стисненого повітря (CDA) відсортує фрагменти вграфітовий човенПісля завершення роботи персонал обладнання підніме його в резервуар з кислотою, який був підготовлений з певною пропорцією розчину HF для очищення.

 

2. Чищення графітового човна

Рекомендується використовувати 15-25% розчин плавикової кислоти протягом трьох циклів очищення, кожен протягом 4-5 годин, та періодично пропускати азот під час процесу замочування та очищення, додаючи приблизно півгодини очищення; примітка: не рекомендується використовувати повітря безпосередньо як джерело газу для пропускання. Після травлення промийте чистою водою протягом приблизно 10 годин та переконайтеся, що човен ретельно очищено. Після очищення перевірте поверхню човна, точку графітового картону та з'єднання шкота човна, а також інші частини на наявність залишків нітриду кремнію. Потім висушіть відповідно до вимог.

3. Заходи безпеки щодо очищення

A) Оскільки HF кислота є висококорозійною речовиною та має певну леткість, вона небезпечна для операторів. Тому оператори на станції очищення повинні вживати запобіжних заходів безпеки та працювати під керівництвом спеціально призначеної особи.

B) Рекомендується розбирати човен і чистити лише графітову частину під час очищення, щоб кожну контактну частину можна було ретельніше очистити. Наразі багато вітчизняних виробників використовують загальне очищення, що зручно, але оскільки HF кислота є корозійною для керамічних деталей, загальне очищення скоротить термін служби відповідних деталей.