PECVD grafit qayig'ini qanday tozalash kerak？| VET Energy

1. Tozalashdan oldin tasdiqlash

1) QachonPECVD grafit qayig'i/ tashuvchi 100 dan 150 martadan ko'proq ishlatilsa, operator qoplama holatini o'z vaqtida tekshirishi kerak. Agar g'ayritabiiy qoplama bo'lsa, uni tozalash va tasdiqlash kerak. Grafit qayig'i / tashuvchisidagi kremniy plastinkasining normal qoplama rangi ko'k rangda. Agar plastinka ko'k bo'lmagan, bir nechta rangga ega bo'lsa yoki plastinkalar orasidagi rang farqi katta bo'lsa, bu g'ayritabiiy qoplama bo'lib, g'ayritabiiylikning sababini o'z vaqtida tasdiqlash kerak.
2) Jarayondan so'ng xodimlar qoplama holatini tahlil qiladilarPECVD grafit qayig'i/tashuvchi, ular grafit qayig'ini tozalash kerakmi yoki yo'qmi va karta nuqtasini almashtirish kerakmi yoki yo'qligini aniqlaydilar va tozalash kerak bo'lgan grafit qayig'i/tashuvchi tozalash uchun uskunalar xodimlariga topshiriladi.

 

3) Keyingrafit qayig'i/tashuvchi shikastlangan bo'lsa, ishlab chiqarish xodimlari grafit qayig'idagi barcha kremniy plitalarini olib tashlashadi va ichidagi parchalarni saralash uchun CDA (siqilgan havo) dan foydalanadilargrafit qayig'iIsh tugagandan so'ng, uskunalar xodimlari uni tozalash uchun ma'lum miqdorda HF eritmasi bilan tayyorlangan kislota idishiga ko'tarishadi.

 

2. Grafit qayig'ini tozalash

Uch bosqichli tozalash uchun 15-25% li ftor kislotasi eritmasidan foydalanish tavsiya etiladi, har biri 4-5 soat davomida, va vaqti-vaqti bilan namlash va tozalash jarayonida azotni pufakchalarga solib, taxminan yarim soat tozalash qo'shish tavsiya etiladi; eslatma: pufakchalarni pufakchalarga ajratish uchun gaz manbai sifatida to'g'ridan-to'g'ri havodan foydalanish tavsiya etilmaydi. Tuzlagandan so'ng, taxminan 10 soat davomida toza suv bilan yuving va qayiq yaxshilab tozalanganligini tasdiqlang. Tozalashdan so'ng, iltimos, qayiq yuzasini, grafit karta uchini va qayiq varag'i birikmasini va boshqa qismlarni kremniy nitridi qoldig'i bor-yo'qligini tekshiring. Keyin talablarga muvofiq quriting.

3. Tozalash choralari

A) HF kislotasi yuqori darajada korroziyaga uchragan modda bo'lgani va ma'lum bir o'zgaruvchanlikka ega bo'lgani uchun, u operatorlar uchun xavflidir. Shuning uchun tozalash postidagi operatorlar xavfsizlik choralarini ko'rishlari va maxsus shaxs tomonidan boshqarilishi kerak.

B) Qayiqni qismlarga ajratish va faqat tozalash paytida grafit qismini tozalash tavsiya etiladi, shunda har bir aloqa qismini yanada yaxshilab tozalash mumkin bo'ladi. Hozirgi vaqtda ko'plab mahalliy ishlab chiqaruvchilar umumiy tozalashdan foydalanadilar, bu qulay, ammo HF kislotasi keramik qismlarga korroziyali ta'sir ko'rsatgani uchun umumiy tozalash mos keladigan qismlarning xizmat muddatini qisqartiradi.