PECVD бал чулуун завийг хэрхэн цэвэрлэх вэ？| VET Energy

1. Цэвэрлэгээ хийхээс өмнө хүлээн зөвшөөрөлт

1) ХэзээPECVD бал чулуун завь/зөөгчийг 100-150-аас дээш удаа ашигласан тохиолдолд оператор бүрээсний байдлыг цаг тухайд нь шалгах шаардлагатай. Хэрэв хэвийн бус бүрхүүл байвал цэвэрлэж, баталгаажуулах шаардлагатай. Бал чулуун завь/зөөгч дэх цахиурын хавтангийн хэвийн бүрхүүлийн өнгө нь цэнхэр өнгөтэй байна. Хэрэв хавтангийн өнгө нь цэнхэр биш, олон өнгөтэй эсвэл хавтангийн өнгөний ялгаа их байвал энэ нь хэвийн бус бүрхүүл бөгөөд хэвийн бус байдлын шалтгааныг цаг тухайд нь баталгаажуулах шаардлагатай.
2) Үйл явцын дараа ажилтнууд бүрхүүлийн нөхцөл байдлыг шинжилнэPECVD бал чулуун завь/тээвэрлэгч, тэд бал чулуун завийг цэвэрлэх шаардлагатай эсэхийг болон картын цэгийг солих шаардлагатай эсэхийг тодорхойлж, цэвэрлэх шаардлагатай бал чулуун завь/тээвэрлэгчийг тоног төхөөрөмжийн ажилтнуудад цэвэрлэгээнд хүлээлгэн өгнө.

 

3) Дараа ньбал чулуун завь/зөөгч эвдэрсэн тохиолдолд үйлдвэрлэлийн ажилтнууд бал чулуун завин дахь бүх цахиурын вафлигуудыг гаргаж аваад, CDA (шахсан агаар) ашиглан хэлтэрхийг ялгаж авна.бал чулуун завьАжил дууссаны дараа тоног төхөөрөмжийн ажилтнууд үүнийг тодорхой хэмжээний өндөр давтамжийн уусмалаар цэвэрлэгээнд бэлтгэсэн хүчиллэг саванд хийнэ.

 

2. Бал чулуун завийг цэвэрлэх

Цэвэрлэгээний гурван үе шатанд 15-25% фторын хүчлийн уусмал хэрэглэхийг зөвлөж байна, тус бүр нь 4-5 цаг, мөн дэвтээх, цэвэрлэх явцад үе үе азотыг хөөсрүүлж, хагас цаг орчим цэвэрлэгээ хийхийг зөвлөж байна; тэмдэглэл: хөөсрүүлэх хийн эх үүсвэр болгон агаарыг шууд ашиглахыг зөвлөдөггүй. Даршилсны дараа 10 орчим цагийн турш цэвэр усаар зайлж, завийг сайтар цэвэрлэсэн эсэхийг баталгаажуулна уу. Цэвэрлэсний дараа завины гадаргуу, бал чулуун картын үзүүр, завины хуудасны холболт болон бусад эд ангиудад цахиурын нитридийн үлдэгдэл байгаа эсэхийг шалгана уу. Дараа нь шаардлагын дагуу хатаана.

3. Цэвэрлэгээний урьдчилан сэргийлэх арга хэмжээ

А) HF хүчил нь маш их идэмхий бодис бөгөөд тодорхой хэмжээний хэлбэлзэлтэй тул операторуудад аюултай. Тиймээс цэвэрлэгээний цэгийн операторууд аюулгүй байдлын арга хэмжээ авч, тусгай хүнээр удирдуулах ёстой.

Б) Завийг задалж, зөвхөн цэвэрлэгээний үеэр бал чулуун хэсгийг цэвэрлэхийг зөвлөж байна, ингэснээр холбоо барих хэсэг бүрийг илүү сайтар цэвэрлэх боломжтой болно. Одоогийн байдлаар олон дотоодын үйлдвэрлэгчид нийт цэвэрлэгээг ашигладаг бөгөөд энэ нь тохиромжтой боловч HF хүчил нь керамик эд ангиудад зэврэлт үүсгэдэг тул нийт цэвэрлэгээ нь харгалзах эд ангийн ашиглалтын хугацааг богиносгодог.