Làm thế nào để vệ sinh thuyền graphite PECVD?| VET Energy

1. Xác nhận trước khi vệ sinh

1) KhiThuyền than chì PECVD/carrier được sử dụng hơn 100 đến 150 lần, người vận hành cần kiểm tra tình trạng lớp phủ kịp thời. Nếu có lớp phủ bất thường, cần phải vệ sinh và xác nhận. Màu phủ bình thường của wafer silicon trong thuyền graphite/carrier là màu xanh lam. Nếu wafer không có màu xanh lam, nhiều màu hoặc chênh lệch màu giữa các wafer lớn, thì đó là lớp phủ bất thường và nguyên nhân gây ra bất thường cần được xác nhận kịp thời.
2) Sau khi quá trình nhân viên phân tích tình trạng lớp phủ củaThuyền than chì PECVD/carrier, họ sẽ xác định xem thuyền graphite có cần được vệ sinh hay không và liệu đầu thẻ có cần được thay thế hay không, và thuyền graphite/carrier cần được vệ sinh sẽ được giao cho nhân viên thiết bị để vệ sinh.

 

3) Sau khithuyền than chì/carrier bị hỏng, nhân viên sản xuất sẽ lấy ra tất cả các tấm silicon trong thuyền graphite và sử dụng CDA (khí nén) để phân loại các mảnh vỡ trongthuyền than chì. Sau khi hoàn tất, nhân viên thiết bị sẽ đưa vào bồn chứa axit đã được chuẩn bị sẵn một lượng dung dịch HF nhất định để vệ sinh.

 

2. Vệ sinh thuyền graphite

Nên sử dụng dung dịch axit flohydric 15-25% cho ba lần vệ sinh, mỗi lần 4-5 giờ, và thỉnh thoảng sục khí nitơ trong quá trình ngâm và vệ sinh, thêm khoảng nửa giờ vệ sinh; lưu ý: không nên sử dụng không khí trực tiếp làm nguồn khí để sục. Sau khi ngâm, rửa sạch bằng nước tinh khiết trong khoảng 10 giờ và xác nhận rằng thuyền đã được vệ sinh kỹ lưỡng. Sau khi vệ sinh, vui lòng kiểm tra bề mặt thuyền, điểm thẻ than chì và mối nối tấm thuyền và các bộ phận khác để xem có cặn silicon nitride nào không. Sau đó sấy khô theo yêu cầu.

3. Các biện pháp phòng ngừa vệ sinh

A) Vì axit HF là chất có tính ăn mòn cao và có độ bay hơi nhất định nên nó nguy hiểm cho người vận hành. Do đó, người vận hành tại trạm vệ sinh phải thực hiện các biện pháp phòng ngừa an toàn và được quản lý bởi một người chuyên trách.

B) Nên tháo rời thuyền và chỉ vệ sinh phần than chì trong quá trình vệ sinh, để mỗi bộ phận tiếp xúc có thể được vệ sinh kỹ lưỡng hơn. Hiện nay, nhiều nhà sản xuất trong nước sử dụng phương pháp vệ sinh tổng thể, rất tiện lợi, nhưng vì axit HF ăn mòn các bộ phận gốm, vệ sinh tổng thể sẽ làm giảm tuổi thọ của các bộ phận tương ứng.