Cách vệ sinh thuyền graphite PECVD? | VET Energy

1. Xác nhận trước khi vệ sinh

1) KhiThuyền than chì PECVDNếu khay/giá đỡ được sử dụng hơn 100 đến 150 lần, người vận hành cần kiểm tra tình trạng lớp phủ kịp thời. Nếu có lớp phủ bất thường, cần phải làm sạch và xác nhận. Màu lớp phủ bình thường của tấm silicon trong khay/giá đỡ than chì là màu xanh lam. Nếu tấm wafer có màu khác xanh lam, nhiều màu hoặc sự khác biệt màu sắc giữa các tấm wafer lớn, đó là lớp phủ bất thường, và cần phải xác nhận nguyên nhân bất thường kịp thời.
2) Sau khi nhân viên xử lý phân tích tình trạng lớp phủ củaThuyền than chì PECVD/Giá đỡ, họ sẽ xác định xem khay than chì có cần được làm sạch hay không và điểm tiếp xúc thẻ có cần được thay thế hay không, và khay than chì/giá đỡ cần được làm sạch sẽ được giao cho nhân viên thiết bị để làm sạch.

 

3) Sauthuyền than chìNếu giá đỡ bị hư hỏng, nhân viên sản xuất sẽ lấy tất cả các tấm silicon trong khay than chì ra và sử dụng khí nén (CDA) để phân loại các mảnh vỡ.thuyền than chìSau khi hoàn thành, nhân viên vận hành thiết bị sẽ đưa nó vào bể chứa axit đã được chuẩn bị sẵn với dung dịch HF theo tỷ lệ nhất định để làm sạch.

 

2. Vệ sinh thuyền graphite

Nên sử dụng dung dịch axit flohydric 15-25% để làm sạch ba lần, mỗi lần 4-5 giờ, và sục khí nitơ định kỳ trong quá trình ngâm và làm sạch, thêm khoảng nửa giờ làm sạch; lưu ý: không nên sử dụng không khí trực tiếp làm nguồn khí để sục. Sau khi tẩy gỉ, rửa sạch bằng nước tinh khiết trong khoảng 10 giờ và kiểm tra xem thuyền đã được làm sạch kỹ lưỡng chưa. Sau khi làm sạch, hãy kiểm tra bề mặt thuyền, điểm tiếp xúc với thẻ than chì và các mối nối tấm thuyền, và các bộ phận khác để xem có còn cặn silicon nitride hay không. Sau đó làm khô theo yêu cầu.

3. Biện pháp phòng ngừa khi vệ sinh

A) Vì axit HF là chất có tính ăn mòn cao và dễ bay hơi, nên nó rất nguy hiểm đối với người vận hành. Do đó, người vận hành tại trạm làm sạch phải tuân thủ các biện pháp an toàn và được giám sát bởi người chuyên trách.

B) Nên tháo rời thuyền và chỉ làm sạch phần than chì trong quá trình vệ sinh, để mỗi bộ phận tiếp xúc được làm sạch kỹ lưỡng hơn. Hiện nay, nhiều nhà sản xuất trong nước sử dụng phương pháp làm sạch toàn bộ, phương pháp này tiện lợi, nhưng vì axit HF có tính ăn mòn đối với các bộ phận gốm sứ, nên việc làm sạch toàn bộ sẽ làm giảm tuổi thọ của các bộ phận tương ứng.