1. Potvrda prije čišćenja
1) KadaPECVD grafitni čamacAko se premaz/nosač koristi više od 100 do 150 puta, operater treba na vrijeme provjeriti stanje premaza. Ako postoji abnormalan premaz, potrebno ga je očistiti i potvrditi. Normalna boja premaza silicijumske pločice u grafitnom čamcu/nosaču je plava. Ako pločica ima različite boje, više boja ili je razlika u boji između pločica velika, radi se o abnormalnom premazu i uzrok abnormalnosti treba na vrijeme potvrditi.
2) Nakon što osoblje procesa analizira stanje premazaPECVD grafitni čamac/nosač, oni će utvrditi da li je potrebno očistiti grafitni čamac i da li je potrebno zamijeniti vrh kartice, a grafitni čamac/nosač koji je potrebno očistiti bit će predat osoblju za opremu na čišćenje.
3) Nakongrafitni čamacAko je /nosač oštećen, proizvodno osoblje će izvaditi sve silicijumske pločice iz grafitnog čamca i koristiti CDA (komprimovani vazduh) da sortira fragmente ugrafitni čamacNakon završetka, osoblje za opremu će je podići u rezervoar s kiselinom koji je pripremljen s određenom količinom HF otopine za čišćenje.
2. Čišćenje grafitnog čamca
Preporučuje se korištenje 15-25% rastvora fluorovodonične kiseline za tri kruga čišćenja, svaki u trajanju od 4-5 sati, i periodično propuštanje dušika tokom procesa namakanja i čišćenja, dodajući oko pola sata čišćenja; napomena: ne preporučuje se direktna upotreba zraka kao izvora plina za propuštanje. Nakon kiseljenja, ispirite čistom vodom oko 10 sati i potvrdite da je brod temeljito očišćen. Nakon čišćenja, provjerite površinu broda, vrh grafitnog kartona i spoj škote broda, kao i druge dijelove, kako biste vidjeli ima li ostataka silicijum nitrida. Zatim osušite prema zahtjevima.
3. Mjere opreza pri čišćenju
A) Budući da je HF kiselina vrlo korozivna supstanca i ima određenu isparljivost, opasna je za operatere. Stoga operateri na mjestu za čišćenje moraju poduzeti sigurnosne mjere i biti pod nadzorom za to zadužene osobe.
B) Preporučuje se rastavljanje čamca i čišćenje samo grafitnog dijela tokom čišćenja, kako bi se svaki kontaktni dio mogao temeljitije očistiti. Trenutno mnogi domaći proizvođači koriste sveobuhvatno čišćenje, što je praktično, ali budući da je HF kiselina korozivna za keramičke dijelove, sveobuhvatno čišćenje će skratiti vijek trajanja odgovarajućih dijelova.
Vrijeme objave: 23. decembra 2024.