1. Potvrda prije čišćenja
1) KadaPECVD grafitni brodAko se premaz/nosač koristi više od 100 do 150 puta, operater mora na vrijeme provjeriti stanje premaza. Ako postoji abnormalan premaz, potrebno ga je očistiti i potvrditi. Normalna boja premaza silicijske pločice u grafitnom čamcu/nosaču je plava. Ako pločica nije plava, ima više boja ili je razlika u boji između pločica velika, radi se o abnormalnom premazu i uzrok abnormalnosti treba na vrijeme potvrditi.
2) Nakon što osoblje procesa analizira stanje premazaPECVD grafitni brod/nosač, utvrdit će treba li očistiti grafitni čamac i treba li zamijeniti vrh kartice, a grafitni čamac/nosač koji treba očistiti bit će predan osoblju za opremu na čišćenje.
3) Nakon štografitni brodAko je /nosač oštećen, proizvodno osoblje će izvaditi sve silicijske pločice iz grafitnog čamca i upotrijebiti CDA (komprimirani zrak) za sortiranje fragmenata ugrafitni brodNakon završetka, osoblje opreme će je podići u spremnik kiseline koji je pripremljen s određenim udjelom HF otopine za čišćenje.
2. Čišćenje grafitnog broda
Preporučuje se korištenje otopine fluorovodične kiseline od 15-25% za tri kruga čišćenja, svaki po 4-5 sati, te povremeno propuštanje dušika tijekom procesa namakanja i čišćenja, dodajući oko pola sata čišćenja; napomena: ne preporučuje se izravna upotreba zraka kao izvora plina za propuštanje. Nakon kiseljenja, ispirite čistom vodom oko 10 sati i provjerite je li brod temeljito očišćen. Nakon čišćenja, provjerite površinu broda, vrh grafitnog kartona i spoj škote broda te ostale dijelove kako biste vidjeli ima li ostataka silicijevog nitrida. Zatim osušite prema zahtjevima.
3. Mjere opreza pri čišćenju
A) Budući da je HF kiselina vrlo korozivna tvar i ima određenu hlapljivost, opasna je za operatere. Stoga operateri na mjestu čišćenja moraju poduzeti sigurnosne mjere i biti pod nadzorom za to zadužene osobe.
B) Preporučuje se rastavljanje broda i čišćenje samo grafitnog dijela tijekom čišćenja, kako bi se svaki kontaktni dio mogao temeljitije očistiti. Trenutno mnogi domaći proizvođači koriste cjelokupno čišćenje, što je praktično, ali budući da je HF kiselina korozivna za keramičke dijelove, cjelokupno čišćenje će skratiti vijek trajanja odgovarajućih dijelova.
Vrijeme objave: 23. prosinca 2024.