1. Temizlemeden önce onay
1) Ne zamanPECVD grafit tekne/carrier 100 ila 150 kereden fazla kullanılırsa, operatörün kaplama durumunu zamanında kontrol etmesi gerekir. Anormal bir kaplama varsa, temizlenmesi ve onaylanması gerekir. Grafit teknesindeki/taşıyıcıdaki silikon gofretin normal kaplama rengi mavidir. Gofret mavi değilse, birden fazla renge sahipse veya gofretler arasındaki renk farkı büyükse, bu anormal bir kaplamadır ve anormalliğin nedeninin zamanında onaylanması gerekir.
2) İşlem personeli kaplamanın durumunu analiz ettikten sonraPECVD grafit tekne/taşıyıcı, grafit botun temizlenmesi gerekip gerekmediğini ve kart noktasının değiştirilmesi gerekip gerekmediğini belirleyecek ve temizlenmesi gereken grafit bot/taşıyıcı, temizlik için ekipman personeline teslim edilecektir.
3) Sonrasındagrafit tekne/taşıyıcı hasar görürse, üretim personeli grafit teknesindeki tüm silikon plakaları çıkaracak ve parçaları ayırmak için CDA (basınçlı hava) kullanacaktır.grafit tekneİşlem tamamlandıktan sonra ekipman personeli, temizlik için belirli oranda HF solüsyonu ile hazırlanmış asit tankına kaldıracaktır.
2. Grafit teknenin temizliği
Üç tur temizlik için, her biri 4-5 saat süren %15-25'lik bir hidroflorik asit solüsyonu kullanılması ve ıslatma ve temizleme işlemi sırasında periyodik olarak azot köpürtülmesi, yaklaşık yarım saatlik temizlik eklenmesi önerilir; not: köpürtme için gaz kaynağı olarak doğrudan hava kullanılması önerilmez. Turşu yaptıktan sonra, yaklaşık 10 saat boyunca saf suyla durulayın ve teknenin iyice temizlendiğinden emin olun. Temizledikten sonra, herhangi bir silikon nitrür kalıntısı olup olmadığını görmek için teknenin yüzeyini, grafit kart noktasını ve tekne sac bağlantısını ve diğer parçaları kontrol edin. Ardından gereksinimlere göre kurutun.
3. Temizlik önlemleri
A) HF asit son derece aşındırıcı bir madde olduğundan ve belirli bir uçuculuğa sahip olduğundan operatörler için tehlikelidir. Bu nedenle, temizlik noktasındaki operatörler güvenlik önlemleri almalı ve özel bir kişi tarafından yönetilmelidir.
B) Temizlik sırasında tekneyi söküp sadece grafit parçayı temizlemeniz önerilir, böylece her temas parçası daha kapsamlı bir şekilde temizlenebilir. Şu anda birçok yerli üretici, kullanışlı olan genel temizlik kullanmaktadır, ancak HF asidi seramik parçalar için aşındırıcı olduğundan, genel temizlik ilgili parçaların hizmet ömrünü kısaltacaktır.
Gönderi zamanı: 23-Aralık-2024