1. Temizlik öncesi onay
1) Ne zamanPECVD grafit tekneTaşıyıcı 100 ila 150 kereden fazla kullanıldığında, operatörün kaplama durumunu zamanında kontrol etmesi gerekir. Anormal bir kaplama varsa, temizlenmeli ve doğrulanmalıdır. Grafit tekne/taşıyıcıdaki silikon levhanın normal kaplama rengi mavidir. Levha mavi değilse, birden fazla renge sahipse veya levhalar arasında renk farkı büyükse, bu anormal bir kaplamadır ve anormalliğin nedeni zamanında doğrulanmalıdır.
2) İşlem sonrasında personel kaplamanın durumunu analiz eder.PECVD grafit tekne/taşıyıcı, grafit teknenin temizlenmesi gerekip gerekmediğine ve kart ucunun değiştirilmesi gerekip gerekmediğine karar verecek ve temizlenmesi gereken grafit tekne/taşıyıcı, temizlik için ekipman personeline teslim edilecektir.
3) Sonrasındagrafit tekneTaşıyıcı hasar görürse, üretim personeli grafit teknedeki tüm silikon plakaları çıkaracak ve CDA (basınçlı hava) kullanarak parçaları ayıracaktır.grafit tekneİşlem tamamlandıktan sonra, ekipman personeli, temizleme için belirli oranda HF çözeltisiyle hazırlanmış asit tankına kaldıracaktır.
2. Grafit teknenin temizliği
Temizleme işlemi için %15-25'lik hidroflorik asit çözeltisi kullanılarak üç tur, her tur 4-5 saat süreyle uygulanması ve ıslatma ve temizleme işlemi sırasında periyodik olarak azot gazı verilmesi önerilir; bu işlem temizliğe yaklaşık yarım saat daha ek süre katacaktır; not: Gaz kaynağı olarak doğrudan hava kullanılması önerilmez. Asitleme işleminden sonra, yaklaşık 10 saat saf su ile durulayın ve teknenin tamamen temizlendiğinden emin olun. Temizleme işleminden sonra, teknenin yüzeyini, grafit kart noktalarını, tekne sacı birleşim yerlerini ve diğer kısımları silikon nitrür kalıntısı olup olmadığını kontrol edin. Ardından, gerekliliklere göre kurulayın.
3. Temizlik önlemleri
A) HF asidi oldukça aşındırıcı ve uçucu bir madde olduğundan, operatörler için tehlikelidir. Bu nedenle, temizlik noktasındaki operatörler güvenlik önlemleri almalı ve özel bir kişi tarafından denetlenmelidir.
B) Temizlik sırasında teknenin sökülmesi ve sadece grafit kısımların temizlenmesi önerilir; böylece her temas noktası daha kapsamlı bir şekilde temizlenebilir. Şu anda birçok yerli üretici genel temizlik yöntemini kullanmaktadır, bu pratiktir ancak HF asidi seramik parçalara aşındırıcı olduğundan, genel temizlik ilgili parçaların kullanım ömrünü kısaltacaktır.
Yayın tarihi: 23 Aralık 2024