PECVD qrafit qayığını necə təmizləmək olar？| VET Energy

1. Təmizləmədən əvvəl təsdiq

1) Nə vaxtPECVD qrafit qayığı/daşıyıcı 100-150 dəfədən çox istifadə edildikdə, operator örtük vəziyyətini vaxtında yoxlamalıdır. Qeyri-adi bir örtük varsa, təmizlənməli və təsdiqlənməlidir. Qrafit qayıqdakı/daşıyıcıdakı silikon lövhənin normal örtük rəngi mavidir. Əgər lövhə mavi olmayan, çoxlu rəngdədirsə və ya lövhələr arasındakı rəng fərqi böyükdürsə, bu, anormal bir örtükdür və anormallığın səbəbi vaxtında təsdiqlənməlidir.
2) Prosesdən sonra işçilər örtük vəziyyətini təhlil edirlərPECVD qrafit qayığı/daşıyıcı, onlar qrafit qayığının təmizlənməsinin və kart nöqtəsinin dəyişdirilməsinin lazım olub-olmadığını müəyyən edəcək və təmizlənməsi lazım olan qrafit qayığı/daşıyıcı təmizləmə üçün avadanlıq heyətinə təhvil veriləcək.

 

3) Sonraqrafit qayığı/daşıyıcı zədələnərsə, istehsal heyəti qrafit qayığındakı bütün silikon lövhələri çıxaracaq və içindəki fraqmentləri çeşidləmək üçün CDA-dan (sıxılmış hava) istifadə edəcəkqrafit qayığıTamamlandıqdan sonra, avadanlıq işçiləri onu müəyyən bir nisbətdə təmizləmə üçün HF məhlulu ilə hazırlanmış turşu çəninə qaldıracaqlar.

 

2. Qrafit qayığının təmizlənməsi

Üç mərhələli təmizləmə üçün hər biri 4-5 saat olmaqla 15-25% hidrofluor turşusu məhlulundan istifadə etmək və islatma və təmizləmə prosesi zamanı vaxtaşırı azot köpüklənməsi, təxminən yarım saat təmizləmə əlavə etmək tövsiyə olunur; qeyd: köpüklənmə üçün qaz mənbəyi kimi birbaşa havadan istifadə etmək tövsiyə edilmir. Turşuya qoyduqdan sonra təxminən 10 saat təmiz su ilə yuyun və qayığın tamamilə təmizləndiyini təsdiqləyin. Təmizlədikdən sonra, silikon nitrid qalığının olub olmadığını görmək üçün qayığın səthini, qrafit kart ucunu və qayıq vərəqinin birləşməsini və digər hissələri yoxlayın. Sonra tələblərə uyğun olaraq qurudun.

3. Təmizləmə tədbirləri

A) HF turşusu yüksək dərəcədə aşındırıcı maddə olduğundan və müəyyən dərəcədə dəyişkənliyə malik olduğundan, operatorlar üçün təhlükəlidir. Buna görə də, təmizlik məntəqəsindəki operatorlar təhlükəsizlik tədbirləri görməli və xüsusi bir şəxs tərəfindən idarə olunmalıdırlar.

B) Qayığı söküb yalnız qrafit hissəsini təmizləmək tövsiyə olunur ki, hər bir təmas hissəsi daha yaxşı təmizlənə bilsin. Hazırda bir çox yerli istehsalçılar ümumi təmizləmədən istifadə edirlər ki, bu da rahatdır, lakin HF turşusu keramika hissələrinə korroziyalı təsir göstərdiyindən ümumi təmizləmə müvafiq hissələrin xidmət müddətini qısaldacaq.