¿Cómo limpiar una embarcación de grafito PECVD? | VET Energy

1. Reconocimiento antes de la limpieza

1) Cuando elBarco de grafito PECVDSi el portador se utiliza más de 100 a 150 veces, el operador debe verificar el estado del recubrimiento a tiempo. Si se detecta un recubrimiento anormal, debe limpiarse y confirmarse. El color normal del recubrimiento de la oblea de silicio en la cápsula/portador de grafito es azul. Si la oblea presenta colores diferentes al azul, múltiples colores o la diferencia de color entre las obleas es grande, se trata de un recubrimiento anormal y la causa de la anomalía debe confirmarse a tiempo.
2) Después del proceso, el personal analiza el estado del recubrimiento delBarco de grafito PECVD/transportador, determinarán si es necesario limpiar el bote de grafito y si es necesario reemplazar la punta de la tarjeta, y el bote/transportador de grafito que necesita limpiarse se entregará al personal del equipo para su limpieza.

 

3) Después de labarco de grafito/el portador está dañado, el personal de producción sacará todas las obleas de silicio en el recipiente de grafito y usará CDA (aire comprimido) para separar los fragmentos en elbarco de grafitoUna vez finalizado, el personal del equipo lo elevará al tanque de ácido que se ha preparado con cierta proporción de solución de HF para su limpieza.

 

2. Limpieza de embarcaciones de grafito

Se recomienda utilizar una solución de ácido fluorhídrico al 15-25 % durante tres ciclos de limpieza, cada uno de 4 a 5 horas, y burbujear nitrógeno periódicamente durante el remojo y la limpieza, añadiendo aproximadamente media hora de limpieza. Nota: No se recomienda utilizar aire directamente como gas para el burbujeo. Tras el decapado, enjuague con agua pura durante unas 10 horas y confirme que la embarcación esté completamente limpia. Tras la limpieza, revise la superficie de la embarcación, la punta de la tarjeta de grafito, la junta de la lámina y otras piezas para detectar residuos de nitruro de silicio. A continuación, seque según las instrucciones.

3. Precauciones de limpieza

A) Dado que el ácido HF es una sustancia altamente corrosiva y presenta cierta volatilidad, resulta peligroso para los operadores. Por lo tanto, los operadores en el puesto de limpieza deben tomar precauciones de seguridad y estar bajo la supervisión de una persona designada.

B) Se recomienda desmontar la embarcación y limpiar únicamente la pieza de grafito durante la limpieza, para que cada pieza de contacto se pueda limpiar a fondo. Actualmente, muchos fabricantes nacionales utilizan una limpieza general, lo cual es conveniente, pero dado que el ácido HF es corrosivo para las piezas cerámicas, la limpieza general acortará su vida útil.