¿Cómo limpiar una embarcación de grafito PECVD? | VET Energy

1. Reconocimiento antes de la limpieza

1) Cuando elEmbarcación de grafito PECVDSi el soporte se utiliza más de 100 a 150 veces, el operador debe verificar el estado del recubrimiento periódicamente. Si se observa un recubrimiento anómalo, debe limpiarse y confirmarse. El color normal del recubrimiento de la oblea de silicio en el soporte de grafito es azul. Si la oblea presenta colores distintos al azul, múltiples colores o una gran diferencia de color entre las obleas, se trata de un recubrimiento anómalo y debe confirmarse la causa de la anomalía a tiempo.
2) Después de que el personal del proceso analice el estado del recubrimiento de laEmbarcación de grafito PECVD/portador, determinarán si la barca de grafito necesita limpieza y si el punto de la tarjeta necesita ser reemplazado, y la barca/portador de grafito que necesite limpieza será entregada al personal de equipo para su limpieza.

 

3) Después de labarco de grafito/el portador está dañado, el personal de producción sacará todas las obleas de silicio de la barquilla de grafito y utilizará CDA (aire comprimido) para separar los fragmentos en elbarco de grafitoUna vez finalizado el proceso, el personal encargado del equipo lo elevará al tanque de ácido que ha sido preparado con una cierta proporción de solución de HF para su limpieza.

 

2. Limpieza de una embarcación de grafito

Se recomienda utilizar una solución de ácido fluorhídrico al 15-25% para tres ciclos de limpieza, de 4 a 5 horas cada uno, burbujeando nitrógeno periódicamente durante el proceso de remojo y limpieza, añadiendo aproximadamente media hora de limpieza. Nota: no se recomienda utilizar aire directamente como fuente de gas para el burbujeo. Tras el decapado, enjuague con agua pura durante unas 10 horas y confirme que la embarcación esté completamente limpia. Después de la limpieza, compruebe la superficie de la embarcación, el punto de unión de la tarjeta de grafito y la junta de la plancha de la embarcación, así como otras partes, para comprobar si hay algún residuo de nitruro de silicio. A continuación, seque según las indicaciones.

3. Precauciones de limpieza

A) Dado que el ácido fluorhídrico es una sustancia altamente corrosiva y tiene cierta volatilidad, resulta peligroso para los operarios. Por lo tanto, los operarios en el puesto de limpieza deben tomar precauciones de seguridad y estar supervisados ​​por una persona dedicada.

B) Se recomienda desmontar la embarcación y limpiar únicamente la parte de grafito, para así poder limpiar a fondo cada punto de contacto. Actualmente, muchos fabricantes nacionales utilizan una limpieza general, lo cual es práctico, pero dado que el ácido fluorhídrico es corrosivo para las piezas cerámicas, esta limpieza general acortará la vida útil de las piezas correspondientes.