1. Nyugtázás tisztítás előtt
1) Amikor aPECVD grafit csónakHa a grafit csónakot/hordozót 100-150-nél többször használják, a kezelőnek időben ellenőriznie kell a bevonat állapotát. Ha rendellenes bevonatot észlel, azt meg kell tisztítani és meg kell erősíteni. A grafitcsónakban/hordozóban lévő szilíciumlap normál bevonatszíne kék. Ha a lapka nem kék, több színű, vagy a lapkák közötti színkülönbség nagy, akkor rendellenes bevonatról van szó, és a rendellenesség okát időben meg kell állapítani.
2) Miután a folyamatban részt vevő személyzet elemezte a bevonat állapotátPECVD grafit csónak/hordozóval megállapítják, hogy a grafitcsónakot meg kell-e tisztítani, és hogy a kártyapontot ki kell-e cserélni, majd a tisztítandó grafitcsónakot/hordozót átadják a berendezést kezelő személyzetnek tisztításra.
3) Miután agrafit csónak/hordozó megsérül, a gyártó személyzet kiveszi az összes szilíciumlapkát a grafitcsónakból, és sűrített levegővel (CDA) szétválogatja a benne lévő töredékeket.grafit csónakA befejezés után a berendezés személyzete átemeli a tartályt egy savtartályba, amelyet tisztítás céljából bizonyos arányú HF-oldattal készítettek elő.
2. Grafit csónak tisztítása
Javasoljuk, hogy háromszor, egyenként 4-5 órán át 15-25%-os hidrogén-fluorid oldatot használjon, és az áztatási és tisztítási folyamat során időszakosan nitrogént buborékoltasson, körülbelül fél órán át tisztítva; megjegyzés: nem ajánlott közvetlenül levegőt használni gázforrásként a buborékoláshoz. A pácolás után öblítse tiszta vízzel körülbelül 10 órán át, és győződjön meg arról, hogy a hajót alaposan megtisztították. Tisztítás után ellenőrizze a hajó felületét, a grafitkártya hegyét és a hajólemez illesztését, valamint más alkatrészeket, hogy van-e szilícium-nitrid maradvány. Ezután szárítsa meg a követelményeknek megfelelően.
3. Tisztítási óvintézkedések
A) Mivel a hidrogén-fluorid (HF) sav erősen korrozív anyag és illékony, veszélyes a kezelőkre. Ezért a takarítóállásban dolgozóknak biztonsági óvintézkedéseket kell tenniük, és egy erre kijelölt személynek kell felügyelnie őket.
B) Tisztításkor ajánlott szétszerelni a hajót, és csak a grafit alkatrészt tisztítani, hogy minden érintkező alkatrész alaposabban megtisztítható legyen. Jelenleg sok hazai gyártó általános tisztítást alkalmaz, ami kényelmes, de mivel a HF sav korrozív hatású a kerámia alkatrészekre, az általános tisztítás lerövidíti a megfelelő alkatrészek élettartamát.
Közzététel ideje: 2024. dec. 23.