Keramiese Waferverwarmer AlN Alumina Verhittingselement

Keramiese Waferverwarmer AlN Alumina Verhittingselement
In halfgeleiervervaardiging moet wafers in verskeie prosesse verwerk word, soos dunfilmafsetting, etsing, ens. In hierdie skakels moet die wafers tot 'n sekere temperatuur verhit word, en daar is streng vereistes vir die temperatuur, want die eenvormigheid van temperatuur het 'n baie belangrike impak op die produkopbrengs, en verwarmingskomponente is onontbeerlik.

Keramiekverwarmerword direk op die proseskamer toegepas en is in direkte kontak met die wafer. Hulle dra nie net die wafer nie, maar verseker ook dat die wafer 'n stabiele en eenvormige prosestemperatuur verkry. Hulle is sleutelkomponente in halfgeleier-dunfilmafsettingstoerusting!

Die keramiekverwarmer sluit 'n keramiekbasis in wat die wafer ondersteun en 'n silindriese ondersteuningsliggaam aan die agterkant wat dit ondersteun. Benewens die weerstandselement (verhittingslaag) vir verhitting, is daar ook radiofrekwensie-elektrodes (RF-laag) binne of op die oppervlak van die keramiekbasis. Om vinnige verhitting en verkoeling te verkry, moet die dikte van die keramiekbasis dun wees, maar te dun sal ook die styfheid verminder.

Die ondersteuning van die keramiekverwarmer word gewoonlik van keramiekmateriaal gemaak met 'n termiese uitbreidingskoëffisiënt soortgelyk aan dié van die basis. Die verwarmer gebruik 'n unieke struktuur van 'n asgewrigsbodem om die terminale en drade teen die gevolge van plasma en korrosiewe chemiese gasse te beskerm. Die ondersteuning is toegerus met 'n hitte-oordraggasinlaat- en -uitlaatpyp om 'n eenvormige temperatuur van die verwarmer te verseker. Die basis en die ondersteuning is chemies gebind met 'n bindingslaag.

Die keramiekverwarmer kan gemaak word van keramiek soos aluminiumnitried (AlN), silikonnitried (Si3N4) en alumina (Al2O3). Onder hulle is AlN die beste keuse vir keramiekverwarmers. In vergelyking met ander materiale, het VET Energy se AlN-keramiek die volgende eienskappe:
(1) Goeie termiese geleidingsvermoë;
(2) Gepaste termiese uitbreidingskoëffisiënt vir halfgeleier-silikonmateriale;
(3) Goeie meganiese eienskappe, uitstekende slytasieweerstand en omvattende meganiese eienskappe is beter as berilliumoksied en ekwivalent aan aluminiumoksied;
(4) Uitstekende omvattende elektriese eienskappe, uitstekende elektriese isolasie en lae diëlektriese verlies;
(5) Nie-giftig en omgewingsvriendelik.