Կերամիկական վաֆլի ջեռուցիչ AlN ալյումինե ջեռուցման տարր
Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ թիթեղները պետք է մշակվեն տարբեր գործընթացներով, ինչպիսիք են բարակ թաղանթների նստեցումը, փորագրումը և այլն: Այս օղակներում թիթեղները պետք է տաքացվեն մինչև որոշակի ջերմաստիճան, և ջերմաստիճանի նկատմամբ կան խիստ պահանջներ, քանի որ ջերմաստիճանի միատարրությունը շատ կարևոր ազդեցություն ունի արտադրանքի բերքատվության վրա, և տաքացման բաղադրիչները անփոխարինելի են:
Կերամիկական ջեռուցիչուղղակիորեն կիրառվում է պրոցեսային խցիկում և գտնվում է թիթեղի հետ անմիջական շփման մեջ։ Դրանք ոչ միայն կրում են թիթեղը, այլև ապահովում են, որ թիթեղը ստանա կայուն և միատարր պրոցեսային ջերմաստիճան։ Դրանք կիսահաղորդչային բարակ թաղանթային նստեցման սարքավորումների հիմնական բաղադրիչներն են։
Կերամիկական ջեռուցիչը ներառում է կերամիկական հիմք, որը պահում է վաֆլին, և գլանաձև հենարան հետևի կողմում, որը պահում է այն: Տաքացման համար նախատեսված դիմադրության տարրից (տաքացման շերտ) բացի, կերամիկական հիմքի ներսում կամ մակերեսին կան նաև ռադիոհաճախականության էլեկտրոդներ (RF շերտ): Արագ տաքացման և սառեցման համար կերամիկական հիմքի հաստությունը պետք է լինի բարակ, բայց չափազանց բարակ լինելը նույնպես կնվազեցնի կոշտությունը:
Կերամիկական ջեռուցիչի հենարանը սովորաբար պատրաստված է կերամիկական նյութից՝ հիմքի ջերմային ընդարձակման գործակցով։ Ջեռուցիչն ունի լիսեռային միացման հատակի յուրահատուկ կառուցվածք՝ տերմինալներն ու լարերը պլազմայի և քայքայիչ քիմիական գազերի ազդեցությունից պաշտպանելու համար։ Հենարանը հագեցած է ջերմափոխանակման գազի մուտքի և ելքի խողովակով՝ ջեռուցիչի միատարր ջերմաստիճանն ապահովելու համար։ Հիմքը և հենարանը քիմիապես միացված են կապող շերտով։
Կերամիկական ջեռուցիչը կարող է պատրաստված լինել կերամիկայից, ինչպիսիք են ալյումինի նիտրիդը (AlN), սիլիցիումի նիտրիդը (Si3N4) և ալյումինի օքսիդը (Al2O3): Դրանցից AlN-ը կերամիկական ջեռուցիչների համար լավագույն ընտրությունն է: Այլ նյութերի համեմատ, VET Energy-ի AlN կերամիկան ունի հետևյալ բնութագրերը.
(1) Լավ ջերմահաղորդականություն։
(2) Կիսահաղորդչային սիլիցիումային նյութերի համապատասխան ջերմային ընդարձակման գործակից։
(3) Լավ մեխանիկական հատկությունները, գերազանց մաշվածության դիմադրությունը և համապարփակ մեխանիկական հատկությունները ավելի լավն են, քան բերիլիումի օքսիդը և համարժեք են ալյումինի օքսիդին։
(4) Գերազանց համապարփակ էլեկտրական հատկություններ, գերազանց էլեկտրական մեկուսացում և ցածր դիէլեկտրիկ կորուստ։
(5) Ոչ թունավոր և էկոլոգիապես մաքուր։
Կերամիկական նյութերի տվյալների թերթիկ
| Ապրանք | 95% ալյումին | 99% ալյումին | Ցիրկոնիա | Սիլիցիումի կարբիդ | ՍիլիկոնNզբոսանք | ԱլյումինNզբոսանք |
| Գույն | սպիտակ | Բաց դեղին | սպիտակ | սև | սև | մոխրագույն |
| Խտություն (գ/սմ3) | 3.7 գ/սմ3 | 3.9 գ/սմ3 | 6.02 գ/սմ3 | 3.2 գ/սմ3 | 3.25 գ/սմ3 | 3.2 գ/սմ3 |
| Ջրի կլանումը | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Կարծրություն (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Ճկման ամրություն (ՄՊա) | 300 ՄՊա | 400 ՄՊա | 1100 ՄՊա | 450 ՄՊա | 800 ՄՊա | 310 ՄՊա |
| Սեղմման ամրություն (ՄՊա) | 2500 ՄՊա | 2800 ՄՊա | 3600 ՄՊա | 2000 ՄՊա | 2600 ՄՊա | - |
| Յունգի առաձգականության մոդուլը | 300 ԳՊա | 300 ԳՊա | 320 ԳՊա | 450 ԳՊա | 290 ԳՊա | 310~350 ԳՊա |
| Պուասոնի հարաբերակցությունը | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Ջերմահաղորդականություն | 20 Վտ/մ°C | 32 Վտ/մ°C | 3 Վտ/մ°C | 50 Վտ/մ°C | 25 Վտ/մ°C | 150 Վտ/մ°C |
| Դիէլեկտրիկ ամրություն | 14 կՎ/մմ | 14 կՎ/մմ | 14 կՎ/մմ | 14 կՎ/մմ | 14 կՎ/մմ | 14 կՎ/մմ |
| Ծավալի դիմադրություն (25℃) | >1014Ω·սմ | >1014Ω·սմ | >1014Ω·սմ | >105Ω·սմ | >1014Ω·սմ | >1014Ω·սմ |
VET Energy-ն մասնագիտացված արտադրող է, որը կենտրոնանում է բարձրակարգ առաջադեմ նյութերի, ինչպիսիք են գրաֆիտը, սիլիցիումի կարբիդը, քվարցը, հետազոտությունների և զարգացման, ինչպես նաև արտադրության վրա, ինչպես նաև նյութերի մշակման վրա, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակեածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն: Արտադրանքը լայնորեն կիրառվում է ֆոտովոլտային, կիսահաղորդչային, նոր էներգիայի, մետալուրգիայի և այլն ոլորտներում:
Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է առաջատար տեղական հետազոտական հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ապահովել ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ:
VET Energy-ի առավելությունները ներառում են՝
• Սեփական գործարան և մասնագիտական լաբորատորիա;
• Արդյունաբերության մեջ առաջատար մաքրության մակարդակներ և որակ;
• Մրցունակ գին և արագ առաքման ժամանակ։
• Բազմաթիվ արդյունաբերական գործընկերություններ ամբողջ աշխարհում;
Մենք ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան և լաբորատորիա ցանկացած պահի։
-
Կիսահաղորդչային ալյումինա կերամիկայի մեկուսիչ ծածկույթ
-
Կիսահաղորդչային ալյումինա կերամիկա Վաֆլի կրիչ
-
Ալյումինա կերամիկայի կիսահաղորդչային մեկուսիչ ծածկույթ
-
Ալյումինա կերամիկական կիսահաղորդչային էլեկտրոդային թևք
-
Բարձր ջերմաստիճանի և կոռոզիայի դիմացկուն, պատվերով պատրաստված...
-
Բարձր մաքրության քվարցե հալոցք, որն օգտագործվում է լուսանկարչական...