Téitheoir Wafer Ceirmeach Eilimint Téimh Alumina AlN

Téitheoir Wafer Ceirmeach Eilimint Téimh Alumina AlN
I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, ní mór sliseáin a phróiseáil i bpróisis éagsúla, amhail taisceadh scannán tanaí, greanadh, etc. Sna naisc seo, ní mór na sliseáin a théamh go teocht áirithe, agus tá ceanglais dhiana ann maidir leis an teocht, toisc go bhfuil tionchar an-tábhachtach ag aonfhoirmeacht na teochta ar thoradh an táirge, agus tá comhpháirteanna téimh riachtanach.

Téitheoir ceirmeachcuirtear i bhfeidhm go díreach ar an seomra próiseála agus bíonn siad i dteagmháil dhíreach leis an vaiféar. Ní hamháin go n-iompraíonn siad an vaiféar, ach cinntíonn siad freisin go bhfaigheann an vaiféar teocht phróisis chobhsaí agus aonfhoirmeach. Is comhpháirteanna lárnacha iad i dtrealamh taiscthe scannán tanaí leathsheoltóra!

Tá bonn ceirmeach sa téitheoir ceirmeach a thacaíonn leis an vaiféar agus corp tacaíochta sorcóireach ar chúl a thacaíonn leis. Chomh maith leis an eilimint friotaíochta (ciseal téimh) le haghaidh téimh, tá leictreoidí minicíochta raidió (ciseal RF) taobh istigh nó ar dhromchla an bhoinn ceirmigh. Chun téamh agus fuarú tapa a bhaint amach, ba chóir go mbeadh tiús an bhoinn ceirmigh tanaí, ach laghdóidh ró-thanaí an dolúbthacht freisin.

De ghnáth, déantar taca an téitheora ceirmigh as ábhar ceirmeach a bhfuil comhéifeacht leathnaithe teirmeach aige atá cosúil le comhéifeacht an bhoinn. Glacann an téitheoir struchtúr uathúil de bhun comhpháirteach seafta chun na críochfoirt agus na sreanga a chosaint ó éifeachtaí plasma agus gás ceimiceach creimneach. Tá píopa ionraoin agus asraon gáis aistrithe teasa feistithe ar an taca chun teocht aonfhoirmeach an téitheora a chinntiú. Tá an bonn agus an taca nasctha go ceimiceach le ciseal nasctha.

Is féidir an téitheoir ceirmeach a dhéanamh as ceirmeach ar nós níotráit alúmanaim (AlN), níotráit sileacain (Si3N4), agus alúmana (Al2O3). Ina measc, is é AlN an rogha is fearr do théitheoirí ceirmeacha. I gcomparáid le hábhair eile, tá na tréithe seo a leanas ag ceirmeach AlN VET Energy:
(1) Seoltacht theirmeach mhaith;
(2) Comhéifeacht leathnúcháin theirmigh mheaitseáilte le hábhair sileacain leathsheoltóra;
(3) Tá airíonna meicniúla maithe, friotaíocht caitheamh den scoth, agus airíonna meicniúla cuimsitheacha níos fearr ná ocsaíd berylliam agus coibhéiseach le hocsaíd alúmanaim;
(4) Airíonna leictreacha cuimsitheacha den scoth, insliú leictreach den scoth agus caillteanas tréleictreach íseal;
(5) Neamh-tocsaineach agus neamhdhíobhálach don chomhshaol.