Element de încălzire cu alumină AlN pentru încălzitor de napolitane ceramice

Element de încălzire cu alumină AlN pentru încălzitor de napolitane ceramice
În fabricarea semiconductorilor, napolitanele trebuie prelucrate în diverse procese, cum ar fi depunerea de pelicule subțiri, gravarea etc. În aceste legături, napolitanele trebuie încălzite la o anumită temperatură, existând cerințe stricte privind temperatura, deoarece uniformitatea temperaturii are un impact foarte important asupra randamentului produsului, iar componentele de încălzire sunt indispensabile.

Încălzitor ceramicse aplică direct în camera de proces și sunt în contact direct cu placheta. Acestea nu numai că susțin placheta, dar asigură și că placheta obține o temperatură de proces stabilă și uniformă. Sunt componente cheie în echipamentele de depunere a peliculelor subțiri de semiconductori!

Încălzitorul ceramic include o bază ceramică care susține placheta și un corp cilindric de susținere pe partea din spate care o susține. Pe lângă elementul de rezistență (stratul de încălzire) pentru încălzire, există și electrozi de radiofrecvență (stratul RF) în interiorul sau pe suprafața bazei ceramice. Pentru a obține o încălzire și o răcire rapidă, grosimea bazei ceramice trebuie să fie subțire, dar o grosime prea subțire va reduce și rigiditatea.

Suportul încălzitorului ceramic este în general fabricat din material ceramic cu un coeficient de dilatare termică similar cu cel al bazei. Încălzitorul adoptă o structură unică, cu o bază de îmbinare a arborelui pentru a proteja terminalele și firele de efectele plasmei și ale gazelor chimice corozive. Suportul este echipat cu o conductă de admisie și evacuare a gazului de transfer termic pentru a asigura o temperatură uniformă a încălzitorului. Baza și suportul sunt legate chimic cu un strat de lipire.

Încălzitorul ceramic poate fi fabricat din ceramică precum nitrură de aluminiu (AlN), nitrură de siliciu (Si3N4) și alumină (Al2O3). Printre acestea, AlN este cea mai bună alegere pentru încălzitoarele ceramice. Comparativ cu alte materiale, ceramica AlN de la VET Energy are următoarele caracteristici:
(1) Conductivitate termică bună;
(2) Coeficient de dilatare termică adaptat la materialele semiconductoare din siliciu;
(3) Proprietățile mecanice bune, rezistența excelentă la uzură și proprietățile mecanice complete sunt mai bune decât oxidul de beriliu și echivalente cu oxidul de aluminiu;
(4) Proprietăți electrice complete excelente, izolație electrică excelentă și pierderi dielectrice reduse;
(5) Non-toxic și ecologic.