Elfen Gwresogi Alumina AlN Gwresogydd Wafer Ceramig

Elfen Gwresogi Alumina AlN Gwresogydd Wafer Ceramig
Mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae angen prosesu wafferi mewn amrywiol brosesau, megis dyddodiad ffilm denau, ysgythru, ac ati. Yn y cysylltiadau hyn, mae angen cynhesu'r wafferi i dymheredd penodol, ac mae gofynion llym ar gyfer y tymheredd, oherwydd bod unffurfiaeth tymheredd yn cael effaith bwysig iawn ar gynnyrch y cynnyrch, ac mae cydrannau gwresogi yn anhepgor.

Gwresogydd ceramigyn cael ei roi'n uniongyrchol ar y siambr brosesu ac maent mewn cysylltiad uniongyrchol â'r wafer. Maent nid yn unig yn cario'r wafer, ond hefyd yn sicrhau bod y wafer yn cael tymheredd proses sefydlog ac unffurf. Maent yn gydrannau allweddol mewn offer dyddodiad ffilm denau lled-ddargludyddion!

Mae'r gwresogydd ceramig yn cynnwys sylfaen ceramig sy'n cynnal y wafer a chorff cynnal silindrog ar yr ochr gefn sy'n ei gynnal. Yn ogystal â'r elfen gwrthiant (haen wresogi) ar gyfer gwresogi, mae electrodau amledd radio (haen RF) y tu mewn neu ar wyneb y sylfaen ceramig hefyd. Er mwyn cyflawni gwresogi ac oeri cyflym, dylai trwch y sylfaen ceramig fod yn denau, ond bydd rhy denau hefyd yn lleihau'r anhyblygedd.

Mae cefnogaeth y gwresogydd ceramig fel arfer wedi'i gwneud o ddeunydd ceramig gyda chyfernod ehangu thermol tebyg i eiddo'r sylfaen. Mae'r gwresogydd yn mabwysiadu strwythur unigryw o waelod cymal siafft i amddiffyn y terfynellau a'r gwifrau rhag effeithiau plasma a nwyon cemegol cyrydol. Mae'r gefnogaeth wedi'i chyfarparu â phibell fewnfa ac allfa nwy trosglwyddo gwres i sicrhau tymheredd unffurf y gwresogydd. Mae'r sylfaen a'r gefnogaeth wedi'u bondio'n gemegol gyda haen bondio.

Gellir gwneud y gwresogydd ceramig o serameg fel alwminiwm nitrid (AlN), silicon nitrid (Si3N4), ac alwmina (Al2O3). Yn eu plith, AlN yw'r dewis gorau ar gyfer gwresogyddion ceramig. O'i gymharu â deunyddiau eraill, mae gan serameg AlN VET Energy y nodweddion canlynol:
(1) Dargludedd thermol da;
(2) Cyfernod ehangu thermol cyfatebol i ddeunyddiau silicon lled-ddargludyddion;
(3) Mae priodweddau mecanyddol da, ymwrthedd gwisgo rhagorol, a phriodweddau mecanyddol cynhwysfawr yn well na beryllium ocsid ac yn cyfateb i alwminiwm ocsid;
(4) Priodweddau trydanol cynhwysfawr rhagorol, inswleiddio trydanol rhagorol a cholled dielectrig isel;
(5) Heb wenwyn ac yn gyfeillgar i'r amgylchedd.