Kerámia ostyafűtő AlN alumínium-oxid fűtőelem

Kerámia ostyafűtő AlN alumínium-oxid fűtőelem
A félvezetőgyártásban a lapkákat különféle eljárásokkal kell feldolgozni, például vékonyréteg-leválasztással, maratással stb. Ezekben a folyamatokban a lapkákat egy bizonyos hőmérsékletre kell melegíteni, és szigorú követelmények vonatkoznak a hőmérsékletre, mivel a hőmérséklet egyenletessége nagyon fontos hatással van a termék hozamára, és a fűtőelemek nélkülözhetetlenek.

Kerámia fűtőberendezésközvetlenül a folyamatkamrára kerül felvitelre, és közvetlenül érintkeznek a lapkával. Nemcsak hordozzák a lapkát, hanem biztosítják, hogy a lapka stabil és egyenletes folyamathőmérsékletet érjen el. Kulcsfontosságú alkatrészek a félvezető vékonyréteg-leválasztó berendezésekben!

A kerámia fűtőtest egy kerámia alapot tartalmaz, amely a lapkát tartja, és egy hengeres tartótestet a hátoldalon, amely megtámasztja azt. A fűtéshez szükséges ellenálláselem (fűtőréteg) mellett rádiófrekvenciás elektródák (RF réteg) is találhatók a kerámia alap belsejében vagy felületén. A gyors felmelegedés és lehűlés elérése érdekében a kerámia alap vastagságának vékonynak kell lennie, de a túl vékony réteg a merevséget is csökkenti.

A kerámia fűtőtest tartója általában kerámia anyagból készül, amelynek hőtágulási együtthatója hasonló az alaphoz. A fűtőtest egyedi, tengelycsatlakozású aljszerkezettel rendelkezik, amely megvédi a csatlakozókat és a vezetékeket a plazma és a korrozív kémiai gázok hatásaitól. A tartó hőátadó gázbemenettel és -kimenettel van ellátva, hogy biztosítsa a fűtőtest egyenletes hőmérsékletét. Az alap és a tartó kémiailag egy kötőréteggel van összekötve.

A kerámia fűtőtest készülhet alumínium-nitridből (AlN), szilícium-nitridből (Si3N4) és alumínium-oxidból (Al2O3). Ezek közül az AlN a legjobb választás a kerámia fűtőtestekhez. Más anyagokkal összehasonlítva a VET Energy AlN kerámiája a következő tulajdonságokkal rendelkezik:
(1) Jó hővezető képesség;
(2) A félvezető szilícium anyagokhoz illesztett hőtágulási együttható;
(3) A jó mechanikai tulajdonságok, a kiváló kopásállóság és az átfogó mechanikai tulajdonságok jobbak, mint a berillium-oxid, és egyenértékűek az alumínium-oxiddal;
(4) Kiváló átfogó elektromos tulajdonságok, kiváló elektromos szigetelés és alacsony dielektromos veszteség;
(5) Nem mérgező és környezetbarát.