Eleman chofaj seramik pou wafer AlN aliminyòm
Nan fabrikasyon semi-kondiktè, wafer yo bezwen trete nan divès pwosesis, tankou depo fim mens, grave, elatriye. Nan lyen sa yo, wafer yo bezwen chofe a yon sèten tanperati, epi gen egzijans strik pou tanperati a, paske inifòmite tanperati a gen yon enpak trè enpòtan sou sede pwodwi a, ak konpozan chofaj yo endispansab.
Chofaj seramikaplike dirèkteman nan chanm pwosesis la epi yo an kontak dirèk ak waf la. Yo pa sèlman pote waf la, men tou asire ke waf la jwenn yon tanperati pwosesis ki estab ak inifòm. Yo se eleman kle nan ekipman depozisyon fim mens semi-kondiktè!
Chofaj seramik la gen ladan l yon baz seramik ki sipòte waf la ak yon kò sipò silendrik sou bò dèyè a ki sipòte li. Anplis eleman rezistans lan (kouch chofaj) pou chofaj, genyen tou elektwòd frekans radyo (kouch RF) andedan oswa sou sifas baz seramik la. Pou reyalize chofaj ak refwadisman rapid, epesè baz seramik la ta dwe mens, men twò mens ap diminye rijidite a tou.
Sipò aparèy chofaj seramik la jeneralman fèt ak materyèl seramik ki gen yon koyefisyan ekspansyon tèmik ki sanble ak baz la. Aparèy chofaj la adopte yon estrikti inik ak yon jwenti aks anba pou pwoteje tèminal yo ak fil yo kont efè plasma ak gaz chimik koroziv yo. Sipò a ekipe ak yon tiyo antre ak sòti gaz transfè chalè pou asire yon tanperati inifòm nan aparèy chofaj la. Baz la ak sipò a lye chimikman ak yon kouch lyezon.
Aparèy chofaj seramik la ka fèt ak seramik tankou nitrid aliminyòm (AlN), nitrid silikon (Si3N4), ak aliminyòm (Al2O3). Pami yo, AlN se pi bon chwa pou aparèy chofaj seramik yo. Konpare ak lòt materyèl yo, seramik AlN VET Energy a gen karakteristik sa yo:
(1) Bon konduktivite tèmik;
(2) Koyefisyan ekspansyon tèmik ki koresponn ak materyèl silikon semi-kondiktè;
(3) Bon pwopriyete mekanik, ekselan rezistans kont mete, ak pwopriyete mekanik konplè pi bon pase oksid berilyòm epi ekivalan a oksid aliminyòm;
(4) Ekselan pwopriyete elektrik konplè, ekselan izolasyon elektrik ak pèt dyelèktrik ki ba;
(5) Pa toksik e li bon pou anviwònman an.
Fèy Done Materyèl Seramik yo
| Atik | 95% aliminyòm | 99% aliminyòm | Zirkonya | Karbid Silisyòm | SilisyòmNitrid | AliminyòmNitrid |
| Koulè | blan | Jòn klè | blan | nwa | nwa | gri |
| Dansite (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Absòpsyon dlo | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Dite (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Fòs fleksyonèl (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Fòs konpresiv (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modil Elastisite Young lan | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310 ~ 350GPa |
| Rapò Poisson an | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Konduktivite tèmik | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Fòs dyelèktrik | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Rezistans Volim (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy se yon manifakti pwofesyonèl ki konsantre sou R&D ak pwodiksyon materyèl avanse tankou grafit, carbure Silisyòm, kwats, ansanm ak tretman materyèl tankou kouch SiC, kouch TaC, kouch kabòn vitrifye, kouch kabòn pirolitik, elatriye. Pwodwi yo lajman itilize nan fotovoltaik, semi-kondiktè, nouvo enèji, metaliji, elatriye.
Ekip teknik nou an soti nan pi gwo enstitisyon rechèch domestik yo, ka bay ou solisyon materyèl ki pi pwofesyonèl.
Avantaj VET Energy yo enkli:
• Pwòp faktori ak laboratwa pwofesyonèl;
• Nivo pite ak kalite ki pi wo nan endistri a;
• Pri konpetitif & Tan livrezon rapid;
• Plizyè patenarya endistri atravè lemond;
Nou envite ou vizite faktori ak laboratwa nou an nenpòt ki lè!
