Riscaldatore di wafer in ceramica Elementu riscaldante in alumina AlN

Riscaldatore di wafer in ceramica Elementu riscaldante in alumina AlN
In a fabricazione di semiconduttori, i wafers devenu esse trattati in diversi prucessi, cum'è a deposizione di film sottili, l'incisione, ecc. In questi ligami, i wafers devenu esse riscaldati à una certa temperatura, è ci sò requisiti stretti per a temperatura, perchè l'uniformità di a temperatura hà un impattu assai impurtante nantu à u rendimentu di u produttu, è i cumpunenti di riscaldamentu sò indispensabili.

Riscaldatore ceramicuhè applicatu direttamente à a camera di prucessu è sò in cuntattu direttu cù a cialda. Ùn solu portanu a cialda, ma assicuranu ancu chì a cialda ottenga una temperatura di prucessu stabile è uniforme. Sò cumpunenti chjave in l'equipaggiu di deposizione di film sottili di semiconduttori!

U riscaldatore ceramicu include una basa ceramica chì sustene a cialda è un corpu di supportu cilindricu nantu à a parte posteriore chì a sustene. In più di l'elementu di resistenza (stratu riscaldante) per u riscaldamentu, ci sò ancu elettrodi di radiofrequenza (stratu RF) dentru o nantu à a superficia di a basa ceramica. Per ottene un riscaldamentu è un raffreddamentu rapidu, u spessore di a basa ceramica deve esse sottile, ma troppu sottile riducerà ancu a rigidità.

U supportu di u riscaldatore ceramicu hè generalmente fattu di materiale ceramicu cù un coefficientu di dilatazione termica simile à quellu di a basa. U riscaldatore adotta una struttura unica di un fondu di giunzione di l'asse per prutege i terminali è i fili da l'effetti di u plasma è di i gas chimichi corrosivi. U supportu hè dotatu di un tubu d'entrata è di uscita di gas di trasferimentu di calore per assicurà una temperatura uniforme di u riscaldatore. A basa è u supportu sò ligati chimicamente cù un stratu di legame.

U riscaldatore ceramicu pò esse fattu di ceramica cum'è u nitruru d'aluminiu (AlN), u nitruru di siliciu (Si3N4) è l'alumina (Al2O3). Frà questi, AlN hè a megliu scelta per i riscaldatori ceramici. In paragone cù altri materiali, a ceramica AlN di VET Energy hà e seguenti caratteristiche:
(1) Bona cunduttività termica;
(2) Coefficiente di dilatazione termica adattatu à i materiali di siliciu semiconduttore;
(3) E bone proprietà meccaniche, l'eccellente resistenza à l'usura è e proprietà meccaniche cumplete sò megliu cà l'ossidu di berilliu è equivalenti à l'ossidu d'aluminiu;
(4) Eccellenti proprietà elettriche cumplete, eccellente isolamentu elettricu è bassa perdita dielettrica;
(5) Non tossicu è rispettuosu di l'ambiente.