Ceramika Oblateta Hejtilo AlN Alumina Hejtelemento
En fabrikado de duonkonduktaĵoj, oblatoj devas esti prilaboritaj per diversaj procezoj, kiel ekzemple maldika filmdemetado, gravurado, ktp. En ĉi tiuj ligoj, la oblatoj devas esti varmigitaj ĝis certa temperaturo, kaj ekzistas striktaj postuloj por la temperaturo, ĉar la homogeneco de temperaturo havas tre gravan efikon sur la produkta rendimento, kaj hejtigaj komponantoj estas nemalhaveblaj.
Ceramika hejtiloestas rekte aplikata al la prilabora ĉambro kaj estas en rekta kontakto kun la oblato. Ili ne nur portas la oblato, sed ankaŭ certigas, ke la oblato atingas stabilan kaj unuforman prilaboran temperaturon. Ili estas ŝlosilaj komponantoj en ekipaĵo por deponado de duonkonduktaĵaj maldikaj filmoj!
La ceramika hejtilo inkluzivas ceramikan bazon, kiu subtenas la silicion, kaj cilindran subtenan korpon sur la malantaŭa flanko, kiu subtenas ĝin. Aldone al la rezista elemento (hejtila tavolo) por hejtado, estas ankaŭ radiofrekvencaj elektrodoj (RF-tavolo) interne aŭ sur la surfaco de la ceramika bazo. Por atingi rapidan hejtadon kaj malvarmigon, la dikeco de la ceramika bazo devas esti maldika, sed tro maldika ankaŭ reduktos la rigidecon.
La subteno de la ceramika hejtilo estas ĝenerale farita el ceramika materialo kun termika ekspansia koeficiento simila al tiu de la bazo. La hejtilo adoptas unikan strukturon de ŝafta junto-fundo por protekti la terminalojn kaj dratojn kontraŭ la efikoj de plasmo kaj korodaj kemiaj gasoj. La subteno estas ekipita per varmotransiga gasa eniro kaj eliro por certigi unuforman temperaturon de la hejtilo. La bazo kaj la subteno estas kemie ligitaj per ligtavolo.
La ceramika hejtilo povas esti farita el ceramikaĵoj kiel ekzemple aluminio-nitrido (AlN), silicia nitrido (Si3N4), kaj alumino-tero (Al2O3). Inter ili, AlN estas la plej bona elekto por ceramikaj hejtiloj. Kompare kun aliaj materialoj, la AlN-ceramikaĵo de VET Energy havas la jenajn karakterizaĵojn:
(1) Bona varmokondukteco;
(2) Kongruigita termika ekspansiokoeficiento al duonkonduktaĵaj siliciaj materialoj;
(3) Bonaj mekanikaj ecoj, bonega eluziĝrezisto kaj ampleksaj mekanikaj ecoj estas pli bonaj ol berilia oksido kaj ekvivalentaj al aluminio-oksido;
(4) Bonegaj ampleksaj elektraj ecoj, bonega elektra izolado kaj malalta dielektrika perdo;
(5) Ne-toksa kaj ekologie amika.
Datumfolio de Ceramikaj Materialoj
| Ero | 95% Alumino | 99% Alumino | Zirkonio | Siliciokarbido | SilicioNitride | AluminioNitride |
| Koloro | blanka | Helflava | blanka | nigra | nigra | griza |
| Denseco (g/cm³) | 3,7 g/cm³ | 3.9g/cm³ | 6,02 g/cm³ | 3.2g/cm³ | 3,25 g/cm³ | 3.2g/cm³ |
| Akvo-absorbo | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Malmoleco (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Fleksa Forto (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Kunprema Forto (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulo de Elastiko de Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Poisson-proporcio | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Termika Konduktiveco | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielektra Forto | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Volumo-rezisteco (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy estas profesia fabrikanto, kiu specialiĝas pri esplorado kaj disvolvado kaj produktado de altkvalitaj progresintaj materialoj kiel grafito, siliciokarbido, kvarco, kaj ankaŭ pri materialtraktado kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbon-tegaĵo, piroliza karbon-tegaĵo, ktp. La produktoj estas vaste uzataj en fotovoltaiko, duonkonduktaĵo, nova energio, metalurgio, ktp.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojn por vi.
La avantaĝoj de VET Energy inkluzivas:
• Propra fabriko kaj profesia laboratorio;
• Industri-gvidaj purecniveloj kaj kvalito;
• Konkurenciva prezo kaj rapida livertempo;
• Multnombraj industriaj partnerecoj tutmonde;
Ni bonvenigas vin viziti nian fabrikon kaj laboratorion iam ajn!
