Élément chauffant en alumine AlN pour plaquette en céramique

Élément chauffant en alumine AlN pour plaquette en céramique
Dans la fabrication de semi-conducteurs, les plaquettes doivent être traitées dans divers processus, tels que le dépôt de couches minces, la gravure, etc. Dans ces liaisons, les plaquettes doivent être chauffées à une certaine température, et il existe des exigences strictes en matière de température, car l'uniformité de la température a un impact très important sur le rendement du produit, et les composants de chauffage sont indispensables.

Chauffage en céramiqueIls sont directement appliqués à la chambre de traitement et en contact direct avec la plaquette. Ils assurent non seulement le support de la plaquette, mais garantissent également une température de traitement stable et uniforme. Ce sont des composants clés des équipements de dépôt de couches minces de semi-conducteurs !

Le radiateur céramique comprend une base en céramique qui soutient la plaquette et un corps de support cylindrique à l'arrière. Outre l'élément résistif (couche chauffante) servant au chauffage, des électrodes radiofréquence (couche RF) sont placées à l'intérieur ou à la surface de la base en céramique. Pour un chauffage et un refroidissement rapides, la base en céramique doit être fine, mais une épaisseur trop faible réduira également sa rigidité.

Le support du réchauffeur céramique est généralement constitué d'un matériau céramique dont le coefficient de dilatation thermique est similaire à celui de la base. Le réchauffeur adopte une structure unique de joint d'arbre pour protéger les bornes et les fils des effets du plasma et des gaz chimiques corrosifs. Le support est équipé d'une entrée et d'une sortie de gaz caloporteur pour assurer une température uniforme du réchauffeur. La base et le support sont liés chimiquement par une couche de liaison.

Le radiateur céramique peut être fabriqué à partir de céramiques telles que le nitrure d'aluminium (AlN), le nitrure de silicium (Si3N4) et l'alumine (Al2O3). Parmi ces matériaux, l'AlN est le meilleur choix pour les radiateurs céramiques. Comparée à d'autres matériaux, la céramique AlN de VET Energy présente les caractéristiques suivantes :
(1) Bonne conductivité thermique ;
(2) Coefficient de dilatation thermique adapté aux matériaux semi-conducteurs en silicium ;
(3) De bonnes propriétés mécaniques, une excellente résistance à l'usure et des propriétés mécaniques complètes sont meilleures que l'oxyde de béryllium et équivalentes à l'oxyde d'aluminium ;
(4) Excellentes propriétés électriques complètes, excellente isolation électrique et faible perte diélectrique ;
(5) Non toxique et respectueux de l'environnement.