سيرامڪ ويفر هيٽر AlN ايلومينا حرارتي عنصر
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، ويفرز کي مختلف عملن ۾ پروسيس ڪرڻ جي ضرورت آهي، جهڙوڪ پتلي فلم جمع ڪرڻ، ايچنگ، وغيره. انهن لنڪس ۾، ويفرز کي هڪ خاص درجه حرارت تي گرم ڪرڻ جي ضرورت آهي، ۽ گرمي پد لاءِ سخت گهرجون آهن، ڇاڪاڻ ته گرمي پد جي هڪجهڙائي پيداوار جي پيداوار تي تمام اهم اثر وجهي ٿي، ۽ گرم ڪرڻ جا جزا ناگزير آهن.
سيرامڪ هيٽرسڌو سنئون پروسيس چيمبر تي لاڳو ڪيو ويندو آهي ۽ ويفر سان سڌو سنئون رابطي ۾ هوندا آهن. اهي نه رڳو ويفر کڻندا آهن، پر اهو پڻ يقيني بڻائيندا آهن ته ويفر هڪ مستحڪم ۽ هڪجهڙائي واري عمل جي درجه حرارت حاصل ڪري. اهي سيمي ڪنڊڪٽر پتلي فلم جمع ڪرڻ جي سامان ۾ اهم جزا آهن!
سيرامڪ هيٽر ۾ هڪ سيرامڪ بيس شامل آهي جيڪو ويفر کي سپورٽ ڪري ٿو ۽ پوئين پاسي هڪ سلنڈريڪل سپورٽ باڊي آهي جيڪا ان کي سپورٽ ڪري ٿي. گرم ڪرڻ لاءِ مزاحمتي عنصر (هيٽنگ پرت) کان علاوه، سيرامڪ بيس جي اندر يا مٿاڇري تي ريڊيو فريڪوئنسي اليڪٽروڊ (آر ايف پرت) پڻ آهن. تيز گرمي ۽ ٿڌي حاصل ڪرڻ لاءِ، سيرامڪ بيس جي ٿولهه پتلي هجڻ گهرجي، پر تمام پتلي پڻ سختي کي گهٽائي ڇڏيندو.
سيرامڪ هيٽر جو سپورٽ عام طور تي سيرامڪ مواد مان ٺهيل هوندو آهي جنهن ۾ بيس جي برابر حرارتي توسيع جو ڪوئفيشينٽ هوندو آهي. هيٽر ٽرمينلز ۽ تارن کي پلازما ۽ corrosive ڪيميائي گيسن جي اثرن کان بچائڻ لاءِ شافٽ جوائنٽ هيٺان جي هڪ منفرد جوڙجڪ اختيار ڪندو آهي. سپورٽ هڪ گرمي منتقلي گيس انليٽ ۽ آئوٽ ليٽ پائپ سان ليس آهي ته جيئن هيٽر جي هڪجهڙائي گرمي پد کي يقيني بڻائي سگهجي. بيس ۽ سپورٽ ڪيميائي طور تي هڪ بانڊنگ پرت سان ڳنڍيل آهن.
سيرامڪ هيٽر سيرامڪس مان ٺهيل ٿي سگهي ٿو جهڙوڪ ايلومينيم نائٽرائڊ (AlN)، سلڪون نائٽرائڊ (Si3N4)، ۽ ايلومينا (Al2O3). انهن مان، AlN سيرامڪ هيٽر لاءِ بهترين انتخاب آهي. ٻين مواد جي مقابلي ۾، VET انرجي جي AlN سيرامڪ ۾ هيٺيون خاصيتون آهن:
(1) سٺي حرارتي چالکائي؛
(2) سيمي ڪنڊڪٽر سلڪون مواد سان ملائي حرارتي توسيع جي کوٽائي؛
(3) سٺيون مشيني خاصيتون، بهترين لباس مزاحمت، ۽ جامع مشيني خاصيتون بيريليم آڪسائيڊ کان بهتر ۽ ايلومينيم آڪسائيڊ جي برابر آهن؛
(4) بهترين جامع برقي خاصيتون، بهترين برقي موصليت ۽ گهٽ ڊائي اليڪٽرڪ نقصان؛
(5) غير زهريلو ۽ ماحول دوست.
سيرامڪ مواد جي ڊيٽا شيٽ
| شيءِ | 95٪ ايلومينا | 99٪ ايلومينا | زرڪونيا | سلڪون ڪاربائيڊ | سليڪونNآئي ٽرائيڊ | ايلومينيمNآئي ٽرائيڊ |
| رنگ | اڇو | هلڪو پيلو | اڇو | ڪارو | ڪارو | ڀورو |
| کثافت (g/cm3) | 3.7 گرام/سينٽي ميٽر 3 | 3.9 گرام/سينٽي ميٽر 3 | 6.02 گرام/سينٽي ميٽر 3 | 3.2 گرام/سينٽي ميٽر 3 | 3.25 گرام/سينٽي ميٽر 3 | 3.2 گرام/سينٽي ميٽر 3 |
| پاڻي جذب ڪرڻ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| سختي (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| لچڪدار طاقت (ايم پي اي) | 300 ايم پي اي | 400 ايم پي اي | 1100 ايم پي اي | 450 ايم پي اي | 800 ايم پي اي | 310 ايم پي اي |
| دٻاءُ واري طاقت (ايم پي اي) | 2500 ايم پي اي | 2800 ايم پي اي | 3600 ايم پي اي | 2000 ايم پي اي | 2600 ايم پي اي | - |
| ينگ جي لچڪداريءَ جو ماڊيولس | 300 جي پي اي | 300 جي پي اي | 320 جي پي اي | 450 جي پي اي | 290 جي پي اي | 310 ~ 350 جي پي اي |
| پوائسن جو تناسب | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| حرارتي چالکائي | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| ڊائي اليڪٽرڪ طاقت | 14 ڪلو وي / ايم ايم | 14 ڪلو وي / ايم ايم | 14 ڪلو وي / ايم ايم | 14 ڪلو وي / ايم ايم | 14 ڪلو وي / ايم ايم | 14 ڪلو وي / ايم ايم |
| حجم مزاحمت (25℃) | >1014Ω·سينٽي ميٽر | >1014Ω·سينٽي ميٽر | >1014Ω·سينٽي ميٽر | >105Ω·سينٽي ميٽر | >1014Ω·سينٽي ميٽر | >1014Ω·سينٽي ميٽر |
وي اي ٽي انرجي هڪ پيشيور ٺاهيندڙ آهي جيڪو آر اينڊ ڊي ۽ اعليٰ درجي جي جديد مواد جهڙوڪ گريفائٽ، سلڪون ڪاربائيڊ، ڪوارٽز جي پيداوار تي ڌيان ڏئي ٿو، انهي سان گڏ مواد جي علاج جهڙوڪ سي آءِ سي ڪوٽنگ، ٽي اي سي ڪوٽنگ، شيشي ڪاربن ڪوٽنگ، پائروليٽڪ ڪاربن ڪوٽنگ، وغيره. پراڊڪٽس فوٽووولٽڪ، سيمي ڪنڊڪٽر، نئين توانائي، ڌاتو سازي وغيره ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿين ٿيون.
اسان جي ٽيڪنيڪل ٽيم اعليٰ ملڪي تحقيقي ادارن مان اچي ٿي، جيڪا توهان لاءِ وڌيڪ پيشه ورانه مواد حل فراهم ڪري سگهي ٿي.
وي اي ٽي انرجي جي فائدن ۾ شامل آهن:
• پنهنجي ڪارخاني ۽ پيشيور ليبارٽري؛
• صنعت جي معروف پاڪائي جي سطح ۽ معيار؛
• مقابلي واري قيمت ۽ تيز ترسيل وقت؛
• دنيا ۾ گھڻن صنعتي ڀائيواري؛
اسان توهان کي ڪنهن به وقت اسان جي ڪارخاني ۽ ليبارٽري ڏسڻ لاءِ ڀليڪار ڪريون ٿا!
