Керамички грејач на плочи AlN Алумина греен елемент

Керамички грејач на плочи AlN Алумина греен елемент
Во производството на полупроводници, плочките треба да се обработуваат во различни процеси, како што се таложење на тенок филм, бакирање итн. Во овие врски, плочките треба да се загреваат до одредена температура, а постојат строги барања за температурата, бидејќи униформноста на температурата има многу важно влијание врз приносот на производот, а компонентите за греење се неопходни.

Керамички грејачсе нанесува директно во процесната комора и е во директен контакт со плочката. Тие не само што ја носат плочката, туку и обезбедуваат плочката да добие стабилна и униформна процесна температура. Тие се клучни компоненти во опремата за таложење на тенок филм од полупроводници!

Керамичкиот грејач вклучува керамичка основа што ја потпира плочата и цилиндрично потпорно тело на задната страна што ја потпира. Покрај елементот на отпор (греен слој) за загревање, има и радиофреквентни електроди (RF слој) внатре или на површината на керамичката основа. За да се постигне брзо загревање и ладење, дебелината на керамичката основа треба да биде тенка, но премногу тенка ќе ја намали и цврстината.

Носачот на керамичкиот грејач генерално е направен од керамички материјал со коефициент на термичка експанзија сличен на оној на основата. Грејачот има единствена структура на дното на спојот на вратилото за да ги заштити терминалите и жиците од ефектите на плазмата и корозивните хемиски гасови. Носачот е опремен со цевка за влез и излез на гас за пренос на топлина за да се обезбеди униформна температура на грејачот. Основата и носачот се хемиски врзани со слој за врзување.

Керамичкиот грејач може да биде направен од керамика како што се алуминиум нитрид (AlN), силициум нитрид (Si3N4) и алумина (Al2O3). Меѓу нив, AlN е најдобриот избор за керамички грејачи. Во споредба со другите материјали, керамиката AlN на VET Energy ги има следниве карактеристики:
(1) Добра топлинска спроводливост;
(2) Коефициент на термичка експанзија усогласен со полупроводнички силиконски материјали;
(3) Добрите механички својства, одличната отпорност на абење и сеопфатните механички својства се подобри од берилиум оксидот и се еквивалентни на алуминиум оксидот;
(4) Одлични сеопфатни електрични својства, одлична електрична изолација и ниски диелектрични загуби;
(5) Нетоксични и еколошки.