सिरेमिक वेफर हीटर AlN अॅल्युमिना हीटिंग एलिमेंट

सिरेमिक वेफर हीटर AlN अॅल्युमिना हीटिंग एलिमेंट
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, वेफर्सना पातळ फिल्म डिपॉझिशन, एचिंग इत्यादी विविध प्रक्रियांमध्ये प्रक्रिया करावी लागते. या लिंक्समध्ये, वेफर्सना एका विशिष्ट तापमानाला गरम करणे आवश्यक आहे आणि तापमानासाठी कठोर आवश्यकता आहेत, कारण तापमानाच्या एकसमानतेचा उत्पादनाच्या उत्पन्नावर खूप महत्त्वाचा प्रभाव पडतो आणि गरम करणारे घटक अपरिहार्य असतात.

सिरेमिक हीटरते थेट प्रक्रिया कक्षात लावले जातात आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतात. ते केवळ वेफर वाहून नेतातच नाहीत तर वेफरला स्थिर आणि एकसमान प्रक्रिया तापमान मिळते याची देखील खात्री करतात. ते अर्धसंवाहक पातळ फिल्म निक्षेपण उपकरणांमध्ये प्रमुख घटक आहेत!

सिरेमिक हीटरमध्ये वेफरला आधार देणारा सिरेमिक बेस आणि मागील बाजूस एक दंडगोलाकार आधार देणारा बॉडी असतो जो त्याला आधार देतो. गरम करण्यासाठी प्रतिरोधक घटक (हीटिंग लेयर) व्यतिरिक्त, सिरेमिक बेसच्या आत किंवा पृष्ठभागावर रेडिओ फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड (आरएफ लेयर) देखील असतात. जलद गरम आणि थंड होण्यासाठी, सिरेमिक बेसची जाडी पातळ असली पाहिजे, परंतु खूप पातळ केल्याने कडकपणा देखील कमी होईल.

सिरेमिक हीटरचा आधार सामान्यतः सिरेमिक मटेरियलपासून बनलेला असतो ज्याचा थर्मल एक्सपेंशन कोएन्शियंट बेससारखाच असतो. हीटर प्लाझ्मा आणि संक्षारक रासायनिक वायूंच्या प्रभावापासून टर्मिनल्स आणि वायर्सचे संरक्षण करण्यासाठी शाफ्ट जॉइंट बॉटमची एक अद्वितीय रचना स्वीकारतो. हीटरचे तापमान एकसमान राहावे यासाठी सपोर्टमध्ये उष्णता हस्तांतरण गॅस इनलेट आणि आउटलेट पाईप असते. बेस आणि सपोर्ट रासायनिकरित्या बाँडिंग लेयरने जोडलेले असतात.

सिरेमिक हीटर अॅल्युमिनियम नायट्राइड (AlN), सिलिकॉन नायट्राइड (Si3N4) आणि अॅल्युमिना (Al2O3) सारख्या सिरेमिकपासून बनवता येते. त्यापैकी, सिरेमिक हीटर्ससाठी AlN हा सर्वोत्तम पर्याय आहे. इतर साहित्यांच्या तुलनेत, VET एनर्जीच्या AlN सिरेमिकमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:
(१) चांगली औष्णिक चालकता;
(२) अर्धवाहक सिलिकॉन पदार्थांशी जुळणारे थर्मल विस्तार गुणांक;
(३) चांगले यांत्रिक गुणधर्म, उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोधकता आणि व्यापक यांत्रिक गुणधर्म बेरिलियम ऑक्साईडपेक्षा चांगले आणि अॅल्युमिनियम ऑक्साईडच्या समतुल्य आहेत;
(४) उत्कृष्ट व्यापक विद्युत गुणधर्म, उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन आणि कमी डायलेक्ट्रिक नुकसान;
(५) विषारी नसलेले आणि पर्यावरणास अनुकूल.