सिरेमिक वेफर हीटर AlN ॲल्युमिना हीटिंग एलिमेंट

सिरेमिक वेफर हीटर AlN ॲल्युमिना हीटिंग एलिमेंट
सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये, वेफर्सवर थिन फिल्म डिपॉझिशन, एचिंग इत्यादी विविध प्रक्रिया करणे आवश्यक असते. या टप्प्यांमध्ये, वेफर्सना एका विशिष्ट तापमानापर्यंत गरम करणे आवश्यक असते आणि तापमानासाठी कठोर नियम असतात, कारण तापमानाच्या एकसमानतेचा उत्पादनाच्या उत्पन्नावर खूप महत्त्वाचा परिणाम होतो आणि घटकांना गरम करणे अपरिहार्य आहे.

सिरॅमिक हीटरते थेट प्रोसेस चेंबरमध्ये लावले जातात आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतात. ते केवळ वेफरला आधार देत नाहीत, तर वेफरला स्थिर आणि एकसमान प्रक्रिया तापमान मिळेल याचीही खात्री करतात. सेमीकंडक्टर थिन फिल्म डिपॉझिशन उपकरणांमध्ये ते महत्त्वाचे घटक आहेत!

सिरेमिक हीटरमध्ये वेफरला आधार देणारा एक सिरेमिक बेस आणि त्याला आधार देणारी मागील बाजूची एक दंडगोलाकार सपोर्ट बॉडी यांचा समावेश असतो. गरम करण्यासाठी असलेल्या रेझिस्टन्स एलिमेंट (हीटिंग लेयर) व्यतिरिक्त, सिरेमिक बेसच्या आत किंवा पृष्ठभागावर रेडिओ फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड्स (आरएफ लेयर) देखील असतात. जलद गरम आणि थंड होण्यासाठी, सिरेमिक बेसची जाडी पातळ असावी लागते, परंतु जास्त पातळ असल्यास त्याची दृढता देखील कमी होते.

सिरेमिक हीटरचा आधार सामान्यतः बेसच्या समान औष्णिक प्रसरण गुणांक असलेल्या सिरेमिक पदार्थापासून बनवलेला असतो. प्लाझ्मा आणि क्षरणकारी रासायनिक वायूंच्या प्रभावांपासून टर्मिनल्स आणि तारांचे संरक्षण करण्यासाठी, हीटरमध्ये शाफ्ट जॉइंट बॉटमची एक अद्वितीय रचना वापरली जाते. हीटरचे तापमान एकसमान राहावे यासाठी, आधाराला उष्णता हस्तांतरण वायू आत-बाहेर जाण्यासाठी पाईप जोडलेला असतो. बेस आणि आधार एका बॉन्डिंग लेयरने रासायनिकरित्या जोडलेले असतात.

सिरेमिक हीटर ॲल्युमिनियम नायट्राइड (AlN), सिलिकॉन नायट्राइड (Si3N4) आणि ॲल्युमिना (Al2O3) यांसारख्या सिरेमिकपासून बनवता येतो. त्यांपैकी, सिरेमिक हीटर्ससाठी AlN हा सर्वोत्तम पर्याय आहे. इतर सामग्रीच्या तुलनेत, VET एनर्जीच्या AlN सिरेमिकमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:
(1) चांगली औष्णिक वाहकता;
(2) सेमीकंडक्टर सिलिकॉन सामग्रीशी जुळणारा औष्णिक प्रसरण गुणांक;
(3) चांगले यांत्रिक गुणधर्म, उत्कृष्ट झीज प्रतिरोधकता आणि सर्वसमावेशक यांत्रिक गुणधर्म हे बेरिलियम ऑक्साईडपेक्षा चांगले आणि ॲल्युमिनियम ऑक्साईडच्या समकक्ष आहेत;
(4) उत्कृष्ट सर्वसमावेशक विद्युत गुणधर्म, उत्कृष्ट विद्युतरोधकता आणि कमी डायलेक्ट्रिक हानी;
(5) बिनविषारी आणि पर्यावरणास अनुकूल.