Керамичен нагревател за вафли AlN алуминиев нагревателен елемент

Керамичен нагревател за вафли AlN алуминиев нагревателен елемент
В производството на полупроводници, пластините трябва да се обработват по различни начини, като например отлагане на тънък филм, ецване и др. В тези случаи пластините трябва да се нагреят до определена температура и има строги изисквания за температурата, тъй като равномерността на температурата има много важно влияние върху добива на продукта, а нагревателните компоненти са незаменими.

Керамичен нагревателсе прилага директно към процесната камера и е в директен контакт с пластината. Те не само носят пластината, но и осигуряват стабилна и равномерна технологична температура. Те са ключови компоненти в оборудването за отлагане на тънки полупроводникови филми!

Керамичният нагревател включва керамична основа, която поддържа пластината, и цилиндрично носещо тяло от задната страна, което я поддържа. В допълнение към резистивния елемент (нагревателен слой) за нагряване, вътре или на повърхността на керамичната основа има и радиочестотни електроди (RF слой). За да се постигне бързо нагряване и охлаждане, дебелината на керамичната основа трябва да е тънка, но твърде тънката структура също ще намали твърдостта.

Носачът на керамичния нагревател обикновено е изработен от керамичен материал с коефициент на термично разширение, подобен на този на основата. Нагревателят има уникална структура на дъното на валовата връзка, за да предпази клемите и проводниците от въздействието на плазма и корозивни химически газове. Носачът е оборудван с входна и изходна тръба за топлопреносящ газ, за ​​да се осигури равномерна температура на нагревателя. Основата и носачът са химически свързани чрез свързващ слой.

Керамичният нагревател може да бъде изработен от керамика като алуминиев нитрид (AlN), силициев нитрид (Si3N4) и алуминиев оксид (Al2O3). Сред тях AlN е най-добрият избор за керамични нагреватели. В сравнение с други материали, AlN керамиката на VET Energy има следните характеристики:
(1) Добра топлопроводимост;
(2) Съответстващ коефициент на термично разширение на полупроводникови силициеви материали;
(3) Добрите механични свойства, отличната износоустойчивост и цялостните механични свойства са по-добри от тези на берилиевия оксид и еквивалентни на алуминиевия оксид;
(4) Отлични всеобхватни електрически свойства, отлична електрическа изолация и ниски диелектрични загуби;
(5) Нетоксичен и екологичен.